硅片厚度測量儀SIT-200

型號： SIT-200

--- 產(chǎn)品詳情 ---

硅片厚度測量儀SIT-200

硅片厚度測量儀（SIT-200）由精確可調(diào)激光光源，聚焦傳感器，光學接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標上，由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學探測器進行檢測。

產(chǎn)品特點：

l 全光學，非接觸硅片厚度測試

l 高動態(tài)范圍測量粗糙表面

l 濕法刻蝕過程中實時測量

高靈敏度高精度快速測量遠程控制

產(chǎn)品參數(shù)：

測量目標	硅片
測量厚度	10-500μm
光源	1515-1585nm掃描
功率	0.6mw，Class1
指示光源	紅光，Class1M
測量時間	20ms
重復性	0.1μm
輸出監(jiān)控	干擾信號（電學）
PC接口	網(wǎng)口
供電	100-240V，50/60Hz
尺寸	364 x 147 x 391mm
重量	9kg

上海屹持光電技術有限公司

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