真空度是指真空下氣體的稀薄程度。如果被測設(shè)備中的壓力低于大氣壓力，則需要真空測量儀器進行壓力測量。從真空測量儀中讀取的值稱為真空度，真空度值表示系統(tǒng)壓力的實際值低于大氣壓力，即真空度＝大氣壓力－絕對壓力，絕對壓力＝大氣壓＋表壓（－真空度）。

常用的真空度檢測儀器有真空計和熱導傳感器，檢測原理是皮拉尼原理。下面以皮拉尼原理的真空計和熱導傳感器來簡要概述一下這二者在真空度檢測事項方面的差異。

皮拉尼真空計，其工作原理是每單位體積的空氣分子數(shù)隨著真空度的不同而不同，而電阻絲的溫度是不同的，因為電阻絲的電阻率是溫度的函數(shù)，所以不同的真空度導致不同的電阻率，所以電阻不同，電阻絲上的電流壓降也不同。根據(jù)電壓的變化，可以轉(zhuǎn)換氣壓，即可以測量真空度。實際的皮拉尼真空吸塵器通常被制成一個四臂電橋，用電阻絲串聯(lián)起來進行溫度補償。

熱導傳感器是真空科學研究和真空測試技術(shù)的重要檢測元件?；谄だ嵩淼臒釋鞲衅鲝V泛用于測量105帕至10－1帕的粗真空。它包含一個暴露在被測氣體環(huán)境中的加熱體，該加熱體被流經(jīng)它的電流加熱，并被周圍氣體的散熱冷卻。如果氣壓降低，氣體的散熱就會減少，所以當加熱電流不變時，加熱體的溫度就會升高，反之亦然。

熱導傳感器的加熱元件（即測量電阻器）由放置在絕熱膜上的鉑膜電阻器組成。絕緣膜懸掛在微加工的25深度空腔上，空腔的底面平行于絕緣膜，以確保傳熱率的精確測量。由于被測氣體非常?。辞惑w體積?。?，因此它可以提供超低功耗和快速響應(yīng)時間。熱導傳感器廣泛應(yīng)用于分析儀器、任何封閉系統(tǒng)中的真空檢漏設(shè)備、半導體設(shè)備、便攜式真空計設(shè)備等。

對于真空度測量儀器的選擇，兩款熱導傳感器，瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 － MTCS2601和荷蘭Xensor 熱導式氣體傳感器 － XEN－TCG3880。MTCS2601對安裝位置不敏感，可以使用在串擾氣體環(huán)境中，與一個簡單恒定的溫度電路兼容。XEN－TCG3880適用于10mPa～10KPa 之間的真空度測量。
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