在過去的2022年，中國傳感器產(chǎn)業(yè)在政策與投融資方面，迎來了極大的關注。納芯微、奧比中光、奧迪威、思特威、晶華微、燦瑞科技、基康儀器等多家傳感器企業(yè)先后成功上市，廣州、深圳、鄭州、合肥等多地開工/敲定新建MEMS產(chǎn)線/中試線計劃。MEMS傳感器將是未來智能傳感器最重要的類型之一，許多傳統(tǒng)傳感器都在不斷“MEMS”化。未來的趨勢是，所有能用MEMS傳感器替代傳統(tǒng)傳感器的地方，都將使用MEMS傳感器。沒有MEMS芯片，中國傳感器產(chǎn)業(yè)難以發(fā)展。本文整理了目前中國大陸本土MEMS傳感器芯片產(chǎn)線信息和最新進展情況，并統(tǒng)計了2022年正/擬新增MEMS產(chǎn)線情況，信息截止2023年1月，是目前全網(wǎng)最新最全的中國MEMS芯片產(chǎn)線信息盤點。主要有企業(yè)IDM產(chǎn)線、代工產(chǎn)線、中試線、研發(fā)平臺等，共計50條MEMS傳感器芯片產(chǎn)線信息。

（2022新建）1、河南省智能傳感器MEMS中試平臺（中試線）-8英寸據(jù)河南省公布的《2022年河南省重點建設項目名單》中，共計1794個項目，總投資約4.8萬億元，年度計劃投資超1.3萬億元。其中，河南省智能傳感器MEMS中試平臺為年度重點建設項目之一。河南省智能傳感器MEMS中試平臺落戶鄭州高新區(qū)的中國（鄭州）智能傳感谷，于2022年8月動工建設。據(jù)《名單》介紹，項目總建筑面積6.6萬平方米，主要建設智能傳感器MEMS 8 吋中試平臺，圍繞智能傳感器的設計、制造、封測和應用等全產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)布局，建設產(chǎn)能3000-5000片/月的8吋MEMS中試平臺。

▲鄭州高新區(qū)-中國（鄭州）智能傳感谷規(guī)劃圖

（2022新建）2、廣州增芯科技（代工）-12英寸

2022年12月14日，廣州增芯科技舉行盛大的開工儀式，這條可能是未來中國甚至全球最大的MEMS產(chǎn)線正式開工建設。增芯科技有限公司12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目為最新動工建設的12英寸晶圓項目。增芯科技為廣州灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團有限公司重點項目之一。目前建設的為一期第一階段項目，批復投資70億元人民幣，將建設月加工2萬片12英寸的晶圓制造量產(chǎn)線。項目于2022年12月開工，計劃2024上半年通線，2025年年底滿產(chǎn)。

此前，據(jù)《廣州市2022年重點建設項目計劃》顯示，廣州增芯項目總投資達到370億元！將打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測與應用為一體的MEMS制造平臺。項目一期第一階段達產(chǎn)后產(chǎn)能2萬片/月；一期第二階段達產(chǎn)后產(chǎn)能擴至6萬片/月。廣州增芯科技MEMS項目投資規(guī)模、產(chǎn)能均較大，建成后將對我國MEMS產(chǎn)業(yè)格局具有重要影響。

（2022新建）3、拜安半導體（IDM）-6英寸

拜安半導體MEMS產(chǎn)線項目由拜安科技和上海嘉定綜保區(qū)公司共同出資建設，總投資約1.5億元，致力于MEMS光纖傳感器芯片的制造和封裝測試及相關研發(fā)業(yè)務，為6英寸MEMS芯片工藝線。拜安半導體MEMS產(chǎn)線項目于2022年2月簽約，9月開工，原計劃2022年底實現(xiàn)試運營，2024年全面投產(chǎn)，目前未透露相關產(chǎn)能信息。拜安科技主營產(chǎn)品是以光纖光柵傳感、分布式光纖傳感以及MEMS光纖傳感為主的智能光纖傳感器，2021年9月獲由軟銀中國資本領投的數(shù)億元 A 輪融資，2022年9月獲由深創(chuàng)投、中芯聚源等投資的數(shù)億元B輪融資。（在建）4、蚌埠與214所MEMS項目（代工）-8英寸2020年12月，蚌埠與214所簽約共同建設8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設項目，建設周期為2年、總投資10億元，建設目標是打造國內(nèi)領先的8英寸MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)化平臺，建成后將擁有年產(chǎn)5萬片的MEMS晶圓制造能力和每年4億顆MEMS芯片封測能力。預計2023年進入試運營階段。（2022擬建）5、大灣區(qū)MEMS中試線（中試線）-8英寸

2022年11月，在深圳光明區(qū)舉行的中國傳感器與應用技術大會暨光明專項招商大會上，已敲定總投資額約15.33億元的大灣區(qū)MEMS中試線項目將落戶深圳光明區(qū)。

該項目規(guī)劃建設一條約產(chǎn)能3000片的8吋MEMS中試線，并具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺。同時，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金也將落地光明。

6、賽微電子 （代工）-8英寸

以全球MEMS產(chǎn)線計算，賽微電子是全球及中國最大純MEMS代工廠，2015年在深交所創(chuàng)業(yè)板上市，重點發(fā)展MEMS工藝開發(fā)與晶圓制造業(yè)務，2016年全資收購瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開關、硅麥克風等多種MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造的服務。

根據(jù)半導體市場研究機構Yole Development統(tǒng)計的2021年數(shù)據(jù)，Silex Microsystems AB 連續(xù)3年在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一，全球MEMS芯片代工市場（不包含IDM廠商自身制造部分的統(tǒng)計）的占有率約為8%。

賽微電子目前國內(nèi)的MEMS產(chǎn)線位于北京，2021年6月北京8英寸MEMS產(chǎn)線（北京FAB3）一期建成生產(chǎn)，目前（2022年7月）已形成5000片/月產(chǎn)能，并計劃在今年盡快實現(xiàn)一期1萬片/月的產(chǎn)能，在2024/2025年盡快實現(xiàn)3萬片/月的總產(chǎn)能。

▲賽微電子董事長楊云春手持北京FAB3生產(chǎn)的8英寸MEMS麥克風晶圓

（2022擬建）7、賽微電子（代工）-12英寸

2022年1月3日晚間，賽微電子發(fā)布公告，公司于2022年1月1日與合肥高新區(qū)管委會簽署了《合作框架協(xié)議》，擬在合肥高新區(qū)投資建設12吋MEMS制造線項目，總投資51億元，擬建設一座設計產(chǎn)能為2萬片/月的12吋MEMS產(chǎn)線，預計滿產(chǎn)后可實現(xiàn)年收入約30億元。將是中國較具規(guī)模的12英寸MEMS產(chǎn)線之一。

賽微電子合肥項目公司注冊資本擬設定為40億元，計劃賽微電子占股約36%(出資約14.4億元)、合肥高新區(qū)管委會聯(lián)合市區(qū)下屬國資平臺占股約24%（出資約10億元）、項目核心團隊持股約10%（出資約4億元）、其他社會資本占股合計約30%（出資約12億元）。

目前賽微電子主要晶圓產(chǎn)線布局：

①已運營產(chǎn)線：瑞典FAB1&2-MEMS芯片-8英寸晶圓-產(chǎn)能7,000片/月；北京FAB3-MEMS芯片-8英寸晶圓-設計總產(chǎn)能3萬片/月(已實現(xiàn)5,000片/月)；青島GaN產(chǎn)線-GaN外延晶圓-產(chǎn)能830片/月。

②交易中產(chǎn)線：德國FAB5-汽車芯片-8英寸晶圓-產(chǎn)能高于8,000片/月。（該交易已與2022年11月被德國政府禁止，相關信息參看：《6億收購泡湯！中國最大MEMS代工廠被德國下禁令！》）

③籌劃/籌建中產(chǎn)線：FAB4(內(nèi)部商業(yè)討論中)；合肥FAB6-MEMS芯片-12英寸晶圓-設計總產(chǎn)能2萬片/月；懷柔FAB7-MEMS芯片-6/8英寸晶圓-設計總產(chǎn)能3,000片/月；MEMS先進封測P-FAB1-MEMS芯片-8英寸晶圓-設計總產(chǎn)能1萬片/月。

8、西安勵德（代工）-6英寸

西安勵德微系統(tǒng)科技有限公司是一家專業(yè)提供MEMS一體化解決方案的技術創(chuàng)新企業(yè)。2022年3月新建千平六寸MEMS產(chǎn)線一條投產(chǎn)，涵蓋深硅刻蝕、雙面光刻、薄膜、清洗、鍵合和隱形劃片等全產(chǎn)業(yè)鏈工藝設備和對應的測試能力，六寸中試線能夠完成從器件設計、工藝開發(fā)、工藝驗證到批量生產(chǎn)等全產(chǎn)品孵化流程。

9、紹興中芯集成（代工）-8英寸

紹興中芯集成電路制造股份有限公司(下稱“中芯集成”)擁有目前中國大陸本土產(chǎn)能最大的MEMS產(chǎn)線，MEMS晶圓年銷量達85000+片。

2018年3月由中芯國際、紹興市政府、盛洋集團共同出資設立中芯集成電路制造（紹興）有限公司。同年5月，總投資58.8億元的中芯集成電路制造（紹興）項目開工奠基，該項目用地207.6畝，新建14.65萬平米的廠房，建設一條集成電路8寸芯片制造生產(chǎn)線和一條模組封裝生產(chǎn)線。

中芯國際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風、加速度計、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。

中芯集成一期規(guī)劃10萬片8英寸晶圓月產(chǎn)能。于2020年1月正式投產(chǎn)，5年內(nèi)持續(xù)投資近60億人民幣建設達產(chǎn)，形成芯片年出貨51萬片和模組年出貨19.95億顆的產(chǎn)業(yè)規(guī)模，規(guī)?；慨a(chǎn)麥克風、慣性、射頻、MOSFET以及IGBT等產(chǎn)品的芯片和模組，實現(xiàn)年銷售收入達40億人民幣，稅收4.1億元，凈利2億元。

2020年第四季度一期產(chǎn)能擴產(chǎn)至每月4萬片晶圓，近期其成功完成晶圓設備鏈調(diào)試，8英寸晶圓月產(chǎn)能增至7萬片，良品率達99%。

2021年度中芯集成一期產(chǎn)能利用率已達93%，于今年（2022年）6月30日遞交科創(chuàng)板IPO申請，擬募資達125億元，目前已過會?！岸诰A制造項目”擬使用募集資金投入 66.60 億元，將建成一條月產(chǎn) 7 萬片的硅基 8 英寸晶圓加工生產(chǎn)線，進一步提升公司 8 英寸 MEMS 和功率器件的代工產(chǎn)能。相關詳情請參看《剛剛！中國大陸最大MEMS代工廠IPO過會！募資125億創(chuàng)紀錄！》內(nèi)容。

▲中芯集成電路制造（紹興）廠房

10、青島芯恩（代工）-8英寸

芯恩（青島）集成電路有限公司坐落于青島市西海岸新區(qū)，是中國首個協(xié)同式集成電路制造(CIDM)項目。芯恩實現(xiàn)高端數(shù)?；旌弦约疤厥夤に嚨?英寸以及12英寸芯片、國內(nèi)先進光掩膜版等集成電路產(chǎn)品的量產(chǎn)，結合國內(nèi)外知名芯片設計、制造、封測等企業(yè)落戶，打造成與國外先進IDM同等規(guī)模的國內(nèi)先進的垂直整合芯片廠。芯恩（青島）特色工藝芯片包括MEMS芯片等。

11、昊潤科技（IDM）

山東昊潤自動化技術有限公司從事硅壓阻、硅電容OEM傳感器，通用型、智能型及行業(yè)專用型自動化測控儀表的設計研發(fā)和規(guī)?；圃臁?/p>

2011年歐洲經(jīng)濟危機期間，昊潤科技收購芬蘭VTI公司3D-MEMS 硅電容傳感器全套生產(chǎn)線，并引進其核心技術。因此，昊潤科技擁有自己的3D-MEMS技術和硅電容傳感器生產(chǎn)線，年生產(chǎn)規(guī)模1500萬只。

12、青鳥元芯（中試線）-4/6英寸

北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限責任公司是目前國內(nèi)第一家采用MEMS技術批量生產(chǎn)微型傳感器的高科技企業(yè)。公司以"北京大學微電子學研究院"和"微米/納米加工技術國家級重點實驗室"為技術依托，專門從事各種微型傳感器的研發(fā)和生產(chǎn)。目前，青鳥元芯擁有4 英寸/6 英寸MEMS 中試線，傳感器年產(chǎn)能達千萬規(guī)模。已經(jīng)批量生產(chǎn)系列化微型濕度傳感器及模塊、MEMS壓力傳感器芯片、MEMS壓力傳感器、加速度傳感器及相關傳感器模塊和解決方案。

13、東方微磁（IDM）

湖北宜昌東方微磁有限公司是中國船舶重工集團公司第七一〇研究所全資子公司，是一家致力于磁學計量和中國磁電產(chǎn)業(yè)發(fā)展的高新技術企業(yè)，建有國防科技工業(yè)弱磁一級計量站、磁電子技術國家地方聯(lián)合工程實驗室、湖北省磁電子工業(yè)技術研究院，擁有國內(nèi)第一條MEMS磁傳感器芯片生產(chǎn)線。

東方微磁的MEMS生產(chǎn)線2015年底全部調(diào)通，是國內(nèi)首條可滿足工業(yè)化生產(chǎn)的磁芯片生產(chǎn)線，保守產(chǎn)能為1000片/月，每年至少可生產(chǎn)月2億顆芯片，共有濺射鍍膜、光刻、真空、測試等設備進60臺。

14、中電49所（IDM&代工）-4英寸

中國電科49所是我國軍工集團唯一專門從事電子敏感技術研究、敏感元器件與傳感器研發(fā)的專業(yè)研究所，國內(nèi)最大的傳感器產(chǎn)業(yè)研究開發(fā)基地之一。建有4英寸MEMS微加工工藝線，自主研制出壓力、加速度、流量、濕度、氣體等MEMS敏感芯片，批量生產(chǎn)SOIMEMS壓力傳感器、薄膜鉑熱敏電阻器、高分子濕敏電容、可燃氣體傳感器等產(chǎn)品。

15、英特神斯科技（代工）

江蘇（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS軟件巨頭美國Intellisense的中國戰(zhàn)略研發(fā)機構，在江蘇南京建有MEMS傳感器芯片工藝線，與北京大學、清華大學、中國科學院等眾多科研機構建立了戰(zhàn)略合作關系。

16、浙江芯動科技（代工）-6英寸

浙江芯動科技有限公司位于浙江省嘉興市，是一家專注高端MEMS代工并擁有自主知識產(chǎn)權的生產(chǎn)加工企業(yè)，是納杰微電子旗下公司。

芯動科技擁有先進的6英寸MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過程，生產(chǎn)壓力、加速度計、陀螺儀，光鏡和生物醫(yī)學等MEMS傳感器芯片產(chǎn)品。

芯動科技目前已投入1億多用于產(chǎn)線的建設，計劃聯(lián)合資本方在未來2-3年投入5億元人民幣繼續(xù)完善制造基地的相關設備設施。該基地目前建筑面積為3000平方米，是中國最先進的MEMS器件加工平臺之一，具備芯片制造、封裝測試等一系列的能力。

17、美新半導體（IDM）-8英寸

美新半導體（MEMSIC）是全球領先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，于1999年成立, 目前總部位于中國天津，2007年在美國納斯達克上市，是全球MEMS第一股，中國MEMS十強企業(yè)之一。

美新半導體在無錫建有8英寸MEMS磁、慣性傳感器晶圓生產(chǎn)、封測產(chǎn)線。2022年12月25日，據(jù)《紹興日報》報道，總投資約3.5億元，建筑面積約5.27萬平方米的紹興集成電路設計產(chǎn)業(yè)園（西園）項目計劃2023年6月竣工。位于園區(qū)內(nèi)的美新半導體項目即將投產(chǎn)，投產(chǎn)后將形成年產(chǎn)6億顆MEMS磁傳感器芯片和1.2億顆加速度傳感器的生產(chǎn)能力。

18、原位芯片（IDM&代工）-6英寸

原位芯片成立于2015年，主要研究人員由來自清華大學、中科院和海外院校的微電子、生物和機電等專業(yè)技術人才組成。原位芯片擁有一條6英寸MEMS晶圓產(chǎn)線，掌握40多項領先MEMS技術，擁有芯片設計、工藝開發(fā)、流片生產(chǎn)和測試的全流程自主研發(fā)、生產(chǎn)能力。

原位芯片專注于MEMS液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片和氮化硅薄膜窗格等產(chǎn)品，其自主研發(fā)的氮化硅薄膜窗口產(chǎn)品成功打破海外壟斷，液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片也是國內(nèi)同類產(chǎn)品首創(chuàng)。

19、華潤微電子（IDM&代工）-6&8英寸

華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產(chǎn)線是國內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，具有國內(nèi)領先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術，用于制造壓力、硅麥克風、光電、溫濕度等MEMS傳感器。

華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術水平和競爭能力。

20、上海先進半導體（代工）-5、6、8英寸

上海先進半導體前身是1988年中荷合資的上海飛利浦半導體公司，經(jīng)過多次改制后，2019年被上海積塔半導體吸收合并，改制為上海先進半導體制造有限公司。

先進半導體由傳統(tǒng)模擬芯片代工廠轉(zhuǎn)型MEMS代工，目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圓生產(chǎn)線，MEMS生產(chǎn)線可以代工的器件包括：三軸陀螺 儀、加速度計、生物MEMS芯片、光學MEMS、RFMEMS、微流體開關、壓力傳感器等，可被廣泛應用于消費電子、醫(yī)療電子以及汽車電子等領域。

目前，該MEMS生產(chǎn)平臺擁有世界最先進的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設備，設計月產(chǎn)量可達3000片。

21、華虹宏力（代工）-8英寸

華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導體制造有限公司合并而成，自建設中國大陸第一條8英寸（200mm）集成電路生產(chǎn)線起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠（華虹一廠、二廠及三廠），月產(chǎn)能約18萬片。

在8英寸制造平臺上，華虹實現(xiàn)MEMS器件與標準CMOS工藝及生產(chǎn)線的全兼容。已流片的產(chǎn)品包括磁力計、加速度計、壓力傳感器等。

22、?？滴⒂埃↖DM）-8英寸

?？滴⒂笆菄鴥?nèi)紅外熱成像巨頭海康威視旗下企業(yè)，主要從事MEMS傳感器、紅外探測器芯片研發(fā)、生產(chǎn)。

2021年11月9日在投資平臺上，海康威視透露?？滴⒂耙呀?jīng)自建一條8寸MEMS生產(chǎn)線及封裝線，具備年產(chǎn)晶圓一萬片，探測器百萬顆的生產(chǎn)能力。

探測器產(chǎn)線潔凈面積達到800平方米、凈化級別高達10級的8英寸，擁有業(yè)界—流的集成電路設計、MEMS設計、MEMS/封裝制程開發(fā)、應用成品開發(fā)及銷售服務團隊。

23、愛司凱（IDM）-8英寸

愛司凱成立于2006年，致力于工業(yè)打印核心技術研發(fā)和多技術（微機電系統(tǒng)MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技術企業(yè)。目前已掌握三大核心技術：即激光技術、壓電式噴墨打印技術和精密運動控制系統(tǒng) ，愛司凱在廣州中新知識城建有8英寸晶圓MEMS噴墨打印頭產(chǎn)線。

24、西人馬（IDM）-8英寸

西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車間和先進微納米研究實驗室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和中國先進的MEMS器件加工平臺。

西人馬19年11月獲得朗潤基金數(shù)千萬A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，2021年3月獲B輪融資，發(fā)展迅速，西人馬已經(jīng)成為國內(nèi)MEMS領域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達到幾十萬顆。西人馬是中國MEMS十強企業(yè)之一。

25、奧松電子（IDM&代工）-6英寸

奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導體工藝技術，是國內(nèi)率先應用MEMS半導體工藝技術生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術企業(yè)，也是廣東省MEMS領域集研發(fā)、設計、制造、封裝測試、終端應用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡稱IDM）企業(yè)。

2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運營，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器芯片。

奧松電子MEMS半導體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程，生產(chǎn)設備約占整個投資規(guī)模的70%。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程建成350納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線；總項目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達到4萬片，

2021年8月，奧松電子官網(wǎng)宣布對外開放MEMS芯片代工業(yè)務，包括設備共享、技術支持、企業(yè)孵化等服務。

2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)建設8英寸先進MEMS特色半導體IDM產(chǎn)業(yè)基地項目。該項目建成后，將成為國內(nèi)先進的MEMS芯片及智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，提高MEMS芯片的代工和量產(chǎn)能力。

26、罕王微電子（IDM）-8英寸

罕王微電子是一家以MEMS傳感器設計及制造生產(chǎn)為核心的高科技中美合資企業(yè)，總部位于遼寧省沈撫新區(qū)，系罕王集團控股子公司。

罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS傳感器業(yè)務，2018年建成國內(nèi)首條8英寸純MEMS規(guī)?；慨a(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程，設計晶圓產(chǎn)能36萬片/年。生產(chǎn)傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應力傳感器等。

27、美泰科技（IDM）-6英寸

中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS 器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收。

6英寸SOI MEMS標準工藝和封裝技術用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線月產(chǎn)能達到1萬片。

28、多維科技（IDM&代工）-6&8英寸

成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設有完整的第四代磁傳感技術——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應芯片產(chǎn)線。

多維科技的磁傳感器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開發(fā)及晶圓制造服務（包括設計、制造和測試），年產(chǎn)10億個TMR磁傳感器。

2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對現(xiàn)有產(chǎn)線進行升級，能夠進一步強化“自研、自產(chǎn)、技術領先”的核心競爭力。

29、啟泰傳感（IDM）

2006年成立，總部在湖南瀏陽。啟泰傳感以王國秋教授為首的科研團隊攻克了異質(zhì)膜關鍵工藝與技術，建設國內(nèi)第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線，是世界上少數(shù)幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規(guī)?；a(chǎn)能力的公司之一。

2019年8月該生產(chǎn)線實現(xiàn)批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬顆，至2021年一期工程順利完工投產(chǎn)，用地面積35畝，建設總用地面積2萬多平米，傳感器芯片年生產(chǎn)能力可達600萬顆，傳感器封裝200萬支，年產(chǎn)值可達10億元。

據(jù)二期項目正在進行，預計完工后，傳感器芯片產(chǎn)能將達2000萬顆，傳感器封裝1000萬支，年產(chǎn)值可達50億元。

30、高德紅外（IDM）

高德紅外創(chuàng)立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產(chǎn)型 MEMS 生產(chǎn)線，是目前國內(nèi)唯一一條自主可控且具備批產(chǎn)能力的非制冷紅外焦平面探測器生產(chǎn)線，已實現(xiàn)從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類面陣規(guī)格產(chǎn)品型號批產(chǎn)能力。

高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測器產(chǎn)線，據(jù)2021年8月消息，年底將有新產(chǎn)線投產(chǎn)，并提高3~4倍產(chǎn)能。

（在建）31、銳石創(chuàng)芯（IDM）

銳石創(chuàng)芯是一家專注于高性能的4G/5G射頻前端產(chǎn)品的研發(fā)及銷售的公司，主要應用于智能手機、物聯(lián)網(wǎng)終端、平板電腦。

銳石創(chuàng)芯MEMS器件生產(chǎn)基地新建項目位于重慶，總占地面積120畝，總投資22億。其中一期投資約8億元，項目核心廠房由晶圓廠和動力站組成，建筑面積共2.65萬平方米，目前主體建筑已封頂，主要生產(chǎn)射頻前端MEMS芯片。

32、士蘭微（IDM）-6&8英寸

杭州士蘭微1997年成立，是國內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。

自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產(chǎn)線，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請相關發(fā)明專利百余項。

目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風、數(shù)字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。

士蘭微是中國MEMS十強企業(yè)之一，據(jù)其2022上半年度報告披露，2022 年上半年，公司 MEMS 傳感器產(chǎn)品的營業(yè)收入達到 1.5 億元，較上年同期增加 7.8%。

33、德爾森（IDM）

德爾森集團是一家中德合作的高新技術企業(yè)，集團總部與產(chǎn)品設計中心位于德國法蘭克福和中國南京。

德爾森與南京市共同建立江蘇MEMS智能傳感器研究院，投資1.04億元建有基于德國CIS研究院技術的MEMS壓力傳感器芯片產(chǎn)線。

34、力盛芯（IDM）-8英寸

力盛芯（洛陽）電子科技公司是由臺灣LED產(chǎn)業(yè)之父石修投資建立的企業(yè)，主要生產(chǎn)微機電工藝傳感器、硅基微型聚光斗芯片和微機電工藝集成電路代工制造三大類產(chǎn)品。2017年總投資9億元，約5萬平方米的8英寸MEMS芯片廠正式投產(chǎn)。

35、睿創(chuàng)微納（IDM）-8英寸

睿創(chuàng)微納總部位于山東煙臺，是從事專用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設計與制造的企業(yè)。

睿創(chuàng)微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線由公司與代工廠共建，已量產(chǎn)，月產(chǎn)能1500片晶圓。

2020年7月，與煙臺開發(fā)區(qū)簽署協(xié)議，建設一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導體工藝線。其中，化合物半導體芯片工藝線面向半導體激光器、光電探測器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高端光學MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。

36、沈陽儀表科學研究院（中試線）-4英寸

沈陽儀表科學研究院傳感器國家工廠研究中心是我國唯一的國家級傳感器工程研究中心，在中國傳感器研發(fā)、生產(chǎn)、應用等方面有著舉足輕重的地位。是我國傳感器標準起草牽頭單位、傳感器行業(yè)協(xié)會理事長單位。

研究中心建有4英寸中試線，主要用于MEMS傳感器研發(fā)生產(chǎn)使用。

37、國家智能傳感器創(chuàng)新中心（中試線）-12英寸

2021年6月30日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心（簡稱“創(chuàng)新中心”）建設的國內(nèi)首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。

該中試線以國產(chǎn)設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，同時為國產(chǎn)裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，實現(xiàn)自主可控。

38、蘇州納米城（中試線）-6英寸

蘇州納米城6英寸MEMS中試線由蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區(qū)政府出資）建設，是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目。

蘇州6英寸微納機電制造（MEMS）中試線采用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業(yè)服務，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品

39、諾思微系統(tǒng)（IDM）-6英寸

諾思微系統(tǒng)位于天津，是一家無線設備射頻前端MEMS濾波芯片服務商，其產(chǎn)品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術以及硅襯底的微機電系統(tǒng)(MEMS)制造技術，同時為無線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。

諾思微已投產(chǎn)一條6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線和一條4英寸工藝研發(fā)線。廠房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬平方米。

2021年3月，國家重點研發(fā)計劃“制造基礎技術與關鍵部件”重點專項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關鍵技術與平臺”的項目在諾思微系統(tǒng)啟動，針對5G/6G無線通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術要求，對實現(xiàn)晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國目前關鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。

2021年8月完成4億元融資，預計在一年內(nèi)全面加速產(chǎn)能釋放，達年產(chǎn)20億顆濾波器芯片的產(chǎn)能規(guī)模。

40、武漢衍熙微器件（IDM）-8英寸

武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線，具有先進的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設備，并建立創(chuàng)新自主開發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。該產(chǎn)線主要產(chǎn)品有MEMS濾波器、雙工器等。

2018年，武漢衍熙微器件進行項目擴建，一期為租賃現(xiàn)有廠房5600平方米，建設3600平方米的無塵室車間；二期計劃建設約10000平方米的無塵室車間，用于擴大生產(chǎn)。

41、蘇州固锝（IDM）-8英寸

蘇州固锝成立于1990年，是國內(nèi)二極管龍頭企業(yè)，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業(yè)務。

2010年固锝收購明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺技術及八英寸晶圓級封裝技術及產(chǎn)線和產(chǎn)品研發(fā)。

2011年成立明皜傳感，從事微機電傳感器芯片和器件的工藝開發(fā)、設計。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬元人民幣增加至 7085.19 萬元人民幣，增幅為 9.96%。

42、西北工業(yè)大學寧波研究院（研發(fā)平臺）-8英寸

西北工業(yè)大學寧波研究院智能傳感芯片技術研究中心依托西北工業(yè)大學微機電系統(tǒng)及納米技術雙一流學科、極端環(huán)境智能微系統(tǒng)國家重點實驗室（培育）寧波基地、空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室寧波基地等優(yōu)勢平臺，建有國際先進、國內(nèi)一流的硅基MEMS核心工藝加工服務平臺，團隊實力雄厚，具有MEMS器件結構設計、批量化代工、性能測試等研發(fā)加工能力。

西北工業(yè)大學寧波研究院MEMS加工平臺位于寧波市國家高新區(qū)智造港A區(qū)，擁有世界頂級SPTS深硅刻蝕機、SUSS MA/BA8 Gen4***、SUSS XB8鍵合機、全自動涂膠顯影機、原子層沉積設備、兩臺電子束蒸鍍設備（金/銀/鋁等金屬、SiO2/Al2O3等介質(zhì)）、兩臺激光隱切設備（硅/玻璃）、濕法腐蝕與清洗系統(tǒng)、橢偏儀、臺階儀等MEMS工藝專業(yè)設備，設備兼容8/6/4/2英寸晶圓加工，面向全國提供MEMS芯片結構設計、鍍膜、光刻、刻蝕、劃片、封測、應用開發(fā)等全方位技術服務。

43、蘇州納米技術與納米仿生研究所（中試線）

中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所由中國科學院與江蘇省人民政府、蘇州市人民政府和蘇州工業(yè)園區(qū)于2006年共同創(chuàng)建。研究所前瞻布局了電子信息、納米材料、生物醫(yī)學等重點研究領域，建設有用于MEMS器件研發(fā)使用的代工產(chǎn)線。

44、淄博高新區(qū)6英寸中試線

該產(chǎn)線由清華大學、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司共同完成。

是國內(nèi)首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺，超凈規(guī)模國內(nèi)一流；配備了國際一流設備的中試代工線，中試生產(chǎn)能力可達月產(chǎn)傳感器十萬只，產(chǎn)品的測試環(huán)境也居國內(nèi)先進水平。

45、兵器214所（中試線）

蚌埠兵器214所智能傳感器創(chuàng)新中心已建成國家級微電子機械系統(tǒng)(MEMS)國家地方聯(lián)合工程實驗室和6英寸MEMS智能傳感器研制生產(chǎn)工藝線，具有設計、制造、封裝、篩選測試及應用的全產(chǎn)業(yè)鏈研制生產(chǎn)能力，擁有豐富的完全自主知識產(chǎn)權的MEMS技術，核心發(fā)明專利300余項，產(chǎn)品覆蓋高端慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS傳感器、流量傳感器以及氣體傳感器等，是國內(nèi)MEMS龍頭企業(yè)和工信部傳感器“一條龍”示范企業(yè)。

46、中科院微電子所（中試線）

2016年由中科院微電子所設立的MEMS研發(fā)平臺，其8英寸MEMS中試線工藝穩(wěn)定性達到98%；針對三軸重力加速度計、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫(yī)用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產(chǎn)品。

47、中科院電子學研究所（研發(fā)平臺）

中國科學院電子學研究所（以下簡稱電子所）創(chuàng)建于1956年，現(xiàn)已并入中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院，是我國第一個綜合型電子與信息科學研究所，設有傳感技術聯(lián)合國家重點實驗室(北方基地)，建有用于MEMS研發(fā)使用的MEMS產(chǎn)線。

48、中科院上海微系統(tǒng)所（研發(fā)平臺）

中國科學院上海微系統(tǒng)所設有傳感技術聯(lián)合國家重點實驗室(北方基地)，現(xiàn)有的MEMS技術平臺由微系統(tǒng)加工平臺和微系統(tǒng)封裝平臺兩部分組成，分別位于上海微系統(tǒng)所漕河涇園區(qū)內(nèi)主樓的一層和二層凈化間內(nèi)。

整個平臺擁有100多臺套先進的大中型設備，總價值達1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統(tǒng)集成等成套工藝，為微系統(tǒng)研究提供有力的技術保障。

49、上海微技術工研院（中試線）

2017年，上海微技術工業(yè)研究院（以下簡稱“工研院”）構建的國內(nèi)首條，全球領先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式投入運營，月產(chǎn)量將達到3000件。

該產(chǎn)線部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關工藝和量測設備。作為國內(nèi)第一條先進8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術培訓、設備驗證等服務，有助于提升研發(fā)的成功率。

今年6月，上海微技術工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機時資助給上海大學，用于微電子學院教學實踐，為期5年。

50、中科院微電子所（中試線）

2016年由中科院微電子所設立的MEMS研發(fā)平臺，其8英寸MEMS中試線工藝穩(wěn)定性達到98%；針對三軸重力加速度計、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫(yī)用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產(chǎn)品。

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審核編輯黃昊宇