對(duì)于晶圓加工的各個(gè)環(huán)節(jié)而言，清洗工藝都是必不可少的基本工序，隨著芯片制造工藝先進(jìn)程度的持續(xù)提升，對(duì)晶圓表面污染物的控制要求也在不斷提高，清洗工序也不斷向精細(xì)化發(fā)展，而對(duì)清洗設(shè)備的需求也在相應(yīng)增加。

據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)，到2025年，中國在半導(dǎo)體行業(yè)的設(shè)備采購將達(dá)到345億美元，占全球三分之一，其中FOUP盒清洗設(shè)備采購占有很大比例，而目前國內(nèi)品牌在這一領(lǐng)域還幾乎處于空白狀態(tài)，主要依靠美系和日系產(chǎn)品，可以說國內(nèi)的FOUP盒清潔設(shè)備還是一片藍(lán)海。面對(duì)巨大的機(jī)遇與挑戰(zhàn)，首年科技（深圳）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“首年科技”）迎難而上，開發(fā)了擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的FOUP盒清潔設(shè)備，填補(bǔ)了國內(nèi)行業(yè)空白。

據(jù)了解，首年科技（深圳）有限公司是一家專注于自動(dòng)化系統(tǒng)集成技術(shù)設(shè)計(jì)及開發(fā)的企業(yè)，團(tuán)隊(duì)核心骨干均來自臺(tái)灣，擁有深厚的行業(yè)背景和經(jīng)驗(yàn)。目前，首年科技已成功開發(fā)出一款成熟的FOUP盒清潔設(shè)備：首年SN830，該設(shè)備采用的技術(shù)是國內(nèi)廠商第一次自主開發(fā)與應(yīng)用的，領(lǐng)先國內(nèi)同行5-8年，已達(dá)到歐美國際領(lǐng)先水準(zhǔn)，得到了行業(yè)內(nèi)外的肯定。

首年SN830運(yùn)用離心清洗和紅外線干燥控制技術(shù)，采用超純水(DIWATER)噴淋，搭配離心式，快中波紅外線，CDA、N2噴氣烘干等技術(shù)；結(jié)合獨(dú)家軟件控制、獨(dú)特的抗震設(shè)計(jì)及獨(dú)特針對(duì)超純水搭配的快中波段石英烘干燈管等設(shè)計(jì)，使設(shè)備能達(dá)到高端納米級(jí)清洗制程要求，且兼顧節(jié)能與環(huán)保，清洗潔凈度可達(dá)Class 10（0.5um塵物數(shù)量小于10）。

目前，首年科技的這款設(shè)備已通過SEMI協(xié)會(huì)和SGS機(jī)構(gòu)認(rèn)證。SEMI標(biāo)準(zhǔn)是主流芯片制造商引進(jìn)機(jī)臺(tái)設(shè)備的判定的安全標(biāo)準(zhǔn)，已成為國際通行并被產(chǎn)業(yè)鏈廣泛認(rèn)可的通行證。能夠獲得SEMI的認(rèn)證，無疑證明首年科技的產(chǎn)品質(zhì)量已達(dá)到國際同類產(chǎn)品水平。據(jù)悉，下一款全自動(dòng)設(shè)備首年SN860已進(jìn)入研發(fā)階段，不少業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，未來新設(shè)備的上市，勢(shì)必將引領(lǐng)行業(yè)智能設(shè)備新形態(tài)。

據(jù)了解，除了設(shè)備銷售和系統(tǒng)性解決方案，首年科技團(tuán)隊(duì)還提供租機(jī)服務(wù)及晶圓盒清洗服務(wù)，以滿足不同企業(yè)的實(shí)際情況。

當(dāng)前，國際高端制造產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)日趨激烈，能否在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)上趕超國外，關(guān)系著中國信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的前途。未來，首年科技將繼續(xù)肩負(fù)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備崛起的使命，不斷推陳出新，加速研發(fā)新的清洗產(chǎn)品，滿足不同市場(chǎng)需求。與此同時(shí)，首年科技也將在晶圓載具、鐵環(huán)、光罩傳輸中加大投入，生產(chǎn)更具競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的設(shè)備，助力中國芯片行業(yè)做大做強(qiáng)。

審核編輯黃宇