10.4.4 定向自組裝光刻技術(shù)（DSA）∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》
Directed Self-assembly Lithography（DSA）
審稿人：北京大學(xué) 蔡一茂 楊遠(yuǎn)程
https://www.pku.edu.cn
審稿人：北京大學(xué) 張興
10.3 集成電路新材料
第10章 集成電路基礎(chǔ)研究與前沿技術(shù)發(fā)展
《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
DSA
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
53瀏覽量
15886
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點推薦
集成電路技術(shù)進(jìn)步的基本規(guī)律
集成電路現(xiàn)今所達(dá)到的技術(shù)高度是當(dāng)初人們難以想象的。在發(fā)明集成電路的1958年.全世界半導(dǎo)體廠生產(chǎn)的晶體管總數(shù)為4710萬個,其中包括210萬個硅晶體管,其余為鍺晶體管。
臺階儀在集成電路制造中的應(yīng)用：高端光刻膠材料純化研究進(jìn)展
隨著集成電路制程節(jié)點不斷向納米尺度邁進(jìn)，光刻技術(shù)已從紫外全譜（g線、i線）發(fā)展到深紫外（KrF、ArF）乃至極紫外（EUV）光源。光刻膠作為光刻
【「芯片設(shè)計基石——EDA產(chǎn)業(yè)全景與未來展望」閱讀體驗】+ 全書概覽
、半導(dǎo)體手冊、光電子芯片等構(gòu)成集成電路關(guān)鍵技術(shù)與創(chuàng)新應(yīng)用叢書。
華大九天，組編，劉偉平、呂霖、王宗源編著。編著介于編和著之間，既有原創(chuàng)內(nèi)容，也有對他人資料的整理和引用。定位是既可作為EDA從業(yè)者的行業(yè)
發(fā)表于 01-20 19:27
【「芯片設(shè)計基石——EDA產(chǎn)業(yè)全景與未來展望」閱讀體驗】--全書概覽
國內(nèi)集成電路設(shè)計EDA行業(yè)領(lǐng)頭羊一員，以實事求是、開拓創(chuàng)新，積極進(jìn)取精神 向讀者展現(xiàn)講解，也是在激勵集成電路EDA產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展壯大，勇立潮頭。
發(fā)表于 01-18 17:50
上海重磅發(fā)文：扶持集成電路產(chǎn)業(yè)、攻堅裝備與光刻膠！
未來，上海將加快先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略引領(lǐng)。支持集成電路企業(yè)瞄準(zhǔn)裝備、先進(jìn)工藝、光刻膠材料、3D封裝，實現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈突破，培育一批具有國際競爭力的龍頭企業(yè)。同時深化全棧創(chuàng)新，推動高性能智算芯片加快
煥新啟航·品質(zhì)躍升 IICIE國際集成電路創(chuàng)新博覽會，構(gòu)建全球集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)平臺
為積極響應(yīng)國家集成電路創(chuàng)新發(fā)展戰(zhàn)略部署，加快推進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)良性發(fā)展生態(tài)，原“SEMI-e深圳國際半導(dǎo)體展暨集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新展”正式升級為“
朗迅科技亮相金華集成電路公共服務(wù)中心揭幕暨產(chǎn)業(yè)技術(shù)研討會
12月25日，智算芯生 共創(chuàng)未來—金華集成電路公共服務(wù)中心揭幕暨產(chǎn)業(yè)技術(shù)研討會在金華盛大舉行，標(biāo)志金華集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展正邁入系統(tǒng)化布局、生態(tài)
高云半導(dǎo)體入選山東省集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新成果獎
2025年11月29日，山東濟南——在山東省集成電路科技與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展對接交流活動上，高云半導(dǎo)體自主研發(fā)的GW5AT-LV60UG324高性能FPGA產(chǎn)品，憑借其卓越的技術(shù)創(chuàng)新能力和廣泛的市場
躍昉科技亮相2025“中國芯”集成電路產(chǎn)業(yè)促進(jìn)大會
11月14日，國家級集成電路產(chǎn)業(yè)盛會——2025年“中國芯”集成電路產(chǎn)業(yè)促進(jìn)大會暨第二十屆“中國芯”優(yōu)秀產(chǎn)品征集結(jié)果發(fā)布儀式，在珠海橫琴天沐琴臺會議中心隆重舉行。本次大會匯聚了來自全國
【「AI芯片：科技探索與AGI愿景」閱讀體驗】+半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的前沿技術(shù)
為我們重點介紹了AI芯片在封裝、工藝、材料等領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新。
一、摩爾定律
摩爾定律是計算機科學(xué)和電子工程領(lǐng)域的一條經(jīng)驗規(guī)律，指出集成電路上可容納的晶體管數(shù)量每18-24個月會增加一倍，同時芯片大小也
發(fā)表于 09-15 14:50
集成電路產(chǎn)業(yè)迎利好!兩部門聯(lián)合發(fā)布計量支撐行動方案
近日，市場監(jiān)管總局與工業(yè)和信息化部聯(lián)合發(fā)布《計量支撐產(chǎn)業(yè)新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展行動方案》(以下簡稱《方案》)，明確提出將重點支持集成電路等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，通過突破核心計量技術(shù)瓶頸，助力
2024年深圳集成電路產(chǎn)業(yè)營收達(dá)2839.6億 同比增長32.9%
近日，深圳市半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會咨詢委員會主任周生明介紹了2024年深圳市半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況。 周生明指出，據(jù)深圳市半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，截至2024年底，深圳市共有集成電路企業(yè)727家，增長率
定向自組裝光刻技術(shù)的基本原理和實現(xiàn)方法
定向自組裝光刻技術(shù)通過材料科學(xué)與自組裝工藝的深度融合，正在重構(gòu)納米制造的工藝組成。主要內(nèi)容包含圖形結(jié)構(gòu)外延法、化學(xué)外延法及圖形轉(zhuǎn)移
電機驅(qū)動與控制專用集成電路及應(yīng)用
的功率驅(qū)動部分。前級控制電路容易實現(xiàn)集成，通常是模擬數(shù)字混合集成電路。對于小功率系統(tǒng)，末級驅(qū)動電路也已集成化，稱之為功率
發(fā)表于 04-24 21:30
中國集成電路大全 接口集成電路
資料介紹本文系《中國集成電路大全》的接口集成電路分冊，是國內(nèi)第一次比較系統(tǒng)地介紹國產(chǎn)接口集成電路的系列、品種、特性和應(yīng)用方而知識的書籍。全書共有總表、正文和附錄三部分內(nèi)容?？偙聿糠至杏?/div>
發(fā)表于 04-21 16:33
- 設(shè)計技術(shù)
- 可編程邏輯
- 電源/新能源
- MEMS/傳感技術(shù)
- 測量儀表
- 嵌入式技術(shù)
- 制造/封裝
- 模擬技術(shù)
- RF/無線
- 接口/總線/驅(qū)動
- 處理器/DSP
- EDA/IC設(shè)計
- 存儲技術(shù)
- 光電顯示
- EMC/EMI設(shè)計
- 連接器
- 行業(yè)應(yīng)用
- LEDs
- 汽車電子
- 音視頻及家電
- 通信網(wǎng)絡(luò)
- 醫(yī)療電子
- 人工智能
- 虛擬現(xiàn)實
- 可穿戴設(shè)備
- 機器人
- 安全設(shè)備/系統(tǒng)
- 軍用/航空電子
- 移動通信
- 工業(yè)控制
- 便攜設(shè)備
- 觸控感測
- 物聯(lián)網(wǎng)
- 智能電網(wǎng)
- 區(qū)塊鏈
- 新科技
- 特色內(nèi)容
- 專欄推薦
- 學(xué)院
- 設(shè)計資源
- 設(shè)計技術(shù)
- 電子百科
- 電子視頻
- 元器件知識
- 工具箱
- VIP會員
- 最新技術(shù)文章
- 產(chǎn)品地圖
- 品牌地圖
- 電子發(fā)燒友
- 關(guān)于我們
- 聯(lián)系我們
- 舉報投訴
- 社交網(wǎng)絡(luò)
- 微博
- 移動端
- 發(fā)燒友APP
- WAP
- 聯(lián)系我們
- 廣告合作
- 王婉珠：wangwanzhu@elecfans.com
- 內(nèi)容合作
- 張迎輝：mikezhang@elecfans.com
-
關(guān)注我們的微信
-
下載發(fā)燒友APP
-
機器人發(fā)燒友
評論