白光干涉儀能測(cè)哪些三維形貌？
中圖儀器SuperView W1白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
SuperView W1白光干涉儀能對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
白光干涉儀三維形貌測(cè)量
半導(dǎo)體-輪廓尺寸測(cè)量
超光滑透鏡測(cè)量
超精密模具
超精密加工
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白光干涉儀
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共聚焦顯微鏡與白光干涉儀的區(qū)別解析
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想同時(shí)測(cè)粗糙度，三維形貌和缺陷？?jī)?yōu)可測(cè)白光干涉儀，一機(jī)全搞定#優(yōu)可測(cè)
干涉儀
優(yōu)可測(cè)
發(fā)布于 :2026年02月28日 10:32:36
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失真、薄膜沉積不均，進(jìn)而引發(fā)器件漏電、功能失效。傳統(tǒng)二維測(cè)量方法難以精準(zhǔn)捕捉納米級(jí)缺陷的三維輪廓特征，無(wú)法滿足先進(jìn)制程晶圓的嚴(yán)苛質(zhì)量管控需求。3D白光干涉儀憑借非接觸測(cè)量特性、亞納米級(jí)
納米壓印的光柵圖形形貌3D測(cè)量-3D白光干涉儀應(yīng)用
形貌參數(shù)，直接決定其光學(xué)衍射效率、偏振特性等核心性能，需實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的全面表征。3D白光干涉儀憑借非接觸測(cè)量、納米級(jí)分辨率及全域三維形貌重
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白光干涉儀可以測(cè)量什么？精準(zhǔn)測(cè)量粗糙度、臺(tái)階高度、形貌、平面度、膜厚、PV、曲率#優(yōu)可測(cè) #優(yōu)可測(cè)白光干涉儀
干涉儀
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發(fā)布于 :2025年08月07日 09:12:38
引進(jìn)白光干涉儀管控微流控芯片形貌，性能大幅提升
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發(fā)表于 05-28 08:48
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FRED應(yīng)用：天文光干涉儀
干涉儀中光線的光程差會(huì)隨著角度的增大而增大。探測(cè)器上生成的干涉圖樣的一些例子如圖2所示。
圖2.左：角度范圍為1弧秒的恒星在探測(cè)器上的白光干涉圖樣，
發(fā)表于 04-29 08:52
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