電子發(fā)燒友網報道（文/莫婷婷）在晶圓制造環(huán)節(jié)，自動物料搬送（AMHS）系統(tǒng)是保證工廠高效運轉的物流大動脈，其重要性貫穿于整個生產流程。隨著國內晶圓廠的密集建設與產能擴張，AMHS系統(tǒng)市場需求持續(xù)攀升。

從全球AMHS產業(yè)來看，目前高端市場仍由日系廠商主導，日本兩家公司占據了 90%的市場份額。但本土市場需求為國產AMHS企業(yè)提供了廣闊的發(fā)展空間和產線驗證機會，國內AMHS企業(yè)正在加速追趕，蘇州新施諾半導體設備有限公司（新施諾）正是其中的代表性企業(yè)。

就在2025灣區(qū)半導體產業(yè)生態(tài)博覽會（灣芯展）上，新施諾向業(yè)界展示了其第五代AMHS天車系統(tǒng)的真實運行效果。當前推進AMHS系統(tǒng)在國產化過程中遇到的難題是什么，未來會有哪些迭代方向，電子發(fā)燒友網就相關問題與新施諾銷售副總經理屠杰進行了交流。

?
圖：新施諾天車系統(tǒng)

加速國產AMHS突圍，錨定半導體黃金窗口期
AMHS系統(tǒng)又稱天車系統(tǒng)，是一種通過軟件系統(tǒng)的控制與調度，利用天車（OHT）、儲料庫等硬件設備，實現晶圓在生產線工序間的自動搬運、緩沖存放的系統(tǒng)。

AMHS系統(tǒng)由硬件和軟件組成，硬件包括：軌道、OHT天車（空中軌道傳輸車）、存儲庫、傳輸線、跨層高速塔、維修設備、空中緩存等設備。軟件包括MCS（物料搬送控制系統(tǒng)）、TCS（搬送控制系統(tǒng)）以及VCS（車輛控制系統(tǒng)）。

在成立時間來看，新施諾尚屬行業(yè)新銳，創(chuàng)立于2022年，但其產業(yè)背景與技術積淀深厚。公司依托新松機器人與中芯聚源、諾華資本等產業(yè)巨頭的聯合注資賦能。同時，公司全資控股韓國SYNUS Tech成立于1977年，且公司擁有超過二十年技術積累的資深企業(yè)，依托其成熟的技術平臺與研發(fā)資源，新施諾實現了在高端AMHS領域的快速切入與自主創(chuàng)新。

如今，新施諾服務國內外知名半導體企業(yè)，具備豐富的高端產線應用經驗。同時，公司于今年2月獲得晶圓廠量產訂單，國產AMHS系統(tǒng)及產品訂單突破3億元。

AMHS在半導體晶圓制造環(huán)節(jié)的應用正逐步普及。成熟制程的6英寸、8英寸晶圓廠物料搬運量相對較小、產線布局靈活，但是產品生產流程受工藝設備、成本的限制，一般采用半自動化方案，因此早期采用AGV地面搬運方案等地面?zhèn)魉驮O備，如今部分工廠也會根據工藝段需求，逐步導入OHT天車方案，實現物料傳輸的自動化與可控化。

而12英寸晶圓廠，隨著產能規(guī)模擴大、工藝流程復雜化以及對潔凈度的極致要求，AMHS天車方案逐漸成為行業(yè)標配，用以滿足高產能、高穩(wěn)定、高潔凈室的需求。

具體來看，新施諾業(yè)務涵蓋半導體、面板、新能源電池等行業(yè)。當下核心關鍵是聚焦國產化生產，主攻國內半導體市場。屠杰表示，未來，隨著蘇州智能工廠的持續(xù)優(yōu)化和本地供應鏈的深度整合，新施諾的國產化制造效率將進一步提升。

隨著國產化替代進程加速，國內晶圓制造企業(yè)紛紛啟動擴產計劃，新施諾迎來了絕佳的市場機會。根據SEMI統(tǒng)計，2019至2024年間全球共興建128座晶圓廠，其中中國大陸占比高達30%。2024年，中國新建晶圓廠就達到29座。

這一趨勢催生了對高端自動化物料搬送系統(tǒng)的龐大需求。如今這些新建產線陸續(xù)進入設備導入與自動化升級階段，為AMHS系統(tǒng)帶來持續(xù)增長空間。

屠杰提到，在激烈的AMHS市場競爭中，技術成熟、穩(wěn)定、高效是競爭關鍵。同時，本地化服務和成本優(yōu)勢為新施諾錦上添花，“當下客戶對于響應時效的要求極為嚴苛，也有可能在幾分鐘內就必須做出回應并提供服務”。新施諾能夠快速響應本地服務支持。


千臺調度、日均處理70萬+搬運指令！
在推進AMHS國產化的進程中，面臨著諸多嚴峻挑戰(zhàn)。屠杰指出，特別是實際運行場景中難以預先察覺的潛在問題，這需要積累大規(guī)模的測試與實際運行數據，推動技術的持續(xù)迭代優(yōu)化，保障系統(tǒng)的穩(wěn)定可靠運行。

晶圓廠采用7×24小時不間斷生產模式，在面積達4萬平方米的廠房內，通常部署有近四百臺天車協同作業(yè)，大型晶圓廠單日搬運頻次約40萬次甚至更高。如此高強度、高密度的運行環(huán)境，AMHS系統(tǒng)的穩(wěn)定性、實時控制能力、多機調度效率及核心算法的智能化水平提出了極為嚴苛的要求。

其中，系統(tǒng)穩(wěn)定性被視為AMHS在半導體場景下的核心性能指標。因為搬運物料價值高，一旦故障損失巨大，需要做到零損傷保護。

衡量穩(wěn)定性有兩個關鍵指標：一是平均無故障搬運次數（MCBF），國際領先廠商已實現≥10萬次的標準，部分甚至可能達到15萬次大關；新施諾已經實現≥10萬次，并于去年底將該指標提升至12萬次。二是振動控制水平，新施諾可將傳輸過程中的振動幅度控制在≤0.5g范圍內。

除了穩(wěn)定性，還有定位精度的要求。這是因為單臺OHT天車硬件集成多達2000個零部件，在高速運行工況下，必須確保系統(tǒng)的振動抑制、高定位精度等能力。在這方面，國內外技術已基本實現同步發(fā)展，均可達到±1毫米的高精度水準，有效保障了與工藝設備端口精準對接的需求。

作為AMHS系統(tǒng)應用中技術門檻最高的領域之一，半導體晶圓制造對系統(tǒng)的穩(wěn)定性、智能化調度能力及長期可靠性提出了極為嚴苛的要求。同時也對供應商的技術沉淀、工藝匹配能力以及全生命周期服務能力構成極高準入壁壘，使其成為衡量AMHS企業(yè)核心技術實力與綜合競爭力的關鍵試金石。

在軟件層面，新施諾堅持從MCS、TCS、VCS進行架構重構、設計新的軟件架構。其中新施諾MCS能夠日均處理70萬+物料搬運指令，支持與多個AHMS供應商無縫集成，兼容主流MES協議，支持在線升級與維護。通過創(chuàng)新的數據庫優(yōu)化技術，能夠降低系統(tǒng)部署成本。

值得一提的是，基于新施諾的AHMS智能調度中樞，公司能夠支持千臺天車調度。在大規(guī)模、高復雜度制造環(huán)境下的調度算法能力、系統(tǒng)架構穩(wěn)定性與實時控制性能已達到行業(yè)領先水平。

新施諾堅持軟硬件協同并進的技術路線，持續(xù)優(yōu)化系統(tǒng)整體架構，不斷突破MCBF等關鍵性能指標的行業(yè)門檻。

據了解，新施諾自主研發(fā)的新一代天車系統(tǒng)開啟研發(fā)測試，未來對標國際企業(yè)，將在車體輕量化、內部布線拓撲優(yōu)化、電路板布局合理性等多方面實現系統(tǒng)性升級，重點解決電磁干擾抑制等難題，進一步提升設備長期運行的穩(wěn)定性與可維護性。

屠杰表示，新施諾正加速推進技術迭代與產業(yè)化落地。他判斷，未來國內市場將逐步演變?yōu)榕c國際市場相似的競爭格局，即由一至兩家頭部企業(yè)主導主要市場份額。新施諾正以此為目標，新施諾正在努力成為國內AMHS領域的核心供應商與行業(yè)引領者。