根據(jù)國際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)(SEMI)的數(shù)據(jù)，2017年全球半導(dǎo)體用特種氣體市場規(guī)模為38.9億美元，增長率為12.32%。按此增速，2018年的市場規(guī)模預(yù)計(jì)在45億美元左右。

目前，國際上電子氣體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)處于非常成熟的時(shí)期，全球半導(dǎo)體用電子氣體市場呈現(xiàn)出寡頭競爭的格局，美國空氣化工、法國液化空氣、普萊克斯、德國林德、日本大陽日酸之和占比94%以上。國內(nèi)的半導(dǎo)體用電子氣體市場也主要被國外廠商占據(jù)，其中空氣化工、普萊克斯、昭和電工、英國BOC、液化空氣和日本大陽日酸6家公司合計(jì)市場占有率高達(dá)85%。

當(dāng)前，世界集成電路產(chǎn)業(yè)正呈現(xiàn)向中國快速轉(zhuǎn)移的趨勢，因此中國對電子氣體的需求也呈大幅增長態(tài)勢。中國高速發(fā)展的集成電路產(chǎn)業(yè)要求關(guān)鍵的電子氣體要盡快實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，并保證穩(wěn)定的供應(yīng)?？上驳氖?，近幾年，國內(nèi)電子氣體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)起步并開始步入快速成長期，出現(xiàn)了江蘇南大光電材料股份有限公司、佛山市華特氣體有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司等一批電子氣體生產(chǎn)企業(yè)，在高純六氟化鎢、三氟化氮、氨氣等領(lǐng)域已經(jīng)取得了突破。

但是，由于國內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)和供應(yīng)商規(guī)模較小、質(zhì)量穩(wěn)定性問題和產(chǎn)品的包裝、儲(chǔ)運(yùn)等原因，國內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)商還不能全面進(jìn)入集成電路等領(lǐng)域。要真正實(shí)現(xiàn)電子氣體的大規(guī)模本土化，擺脫對進(jìn)口材料的依賴，依然任重道遠(yuǎn)。

業(yè)內(nèi)人士表示，中國集成電路產(chǎn)業(yè)要實(shí)現(xiàn)從跟蹤走向引領(lǐng)的跨越，電子氣體的突破將是重要一環(huán)。需要國家落實(shí)和完善對該類企業(yè)的財(cái)稅、資金等優(yōu)惠政策支持，加大財(cái)政資金、大基金和金融部門的扶持力度，引導(dǎo)集成電路廠家使用國產(chǎn)電子氣體，從而幫助企業(yè)把握發(fā)展機(jī)遇，加快企業(yè)技術(shù)進(jìn)步和做大做強(qiáng)。