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文章介紹采用軟磁薄膜集成制造的平面?zhèn)鬏斁€型射頻（RF）噪聲抑制器。該抑制器的縱向結(jié)構(gòu)是由 ① 軟磁薄膜（2mm×15mm×1.2μm）；② 聚酰亞胺膜（2μm厚）；③ 銅（Cu）箔（15.2m長(zhǎng)×3μm厚）傳輸線；④ Ti/Cu 籽晶層；⑤ 玻璃基片（1mm 厚度）等組成的。共平面?zhèn)鬏斁€用電鍍銅的方法制備，其特性阻抗為 50Ω。信號(hào)線寬為50μm。軟磁膜采用射頻磁控濺射淀積法制造，基本軟磁膜為 CoPdAlO 和 CoNbZr 合金材料。將這種磁膜集成式射頻噪聲抑制器與非集成射頻噪聲抑制器比較，以噪聲抑制器的共振點(diǎn)信號(hào)衰減量為例，用 1μm 厚度的 CoNbZr 膜時(shí)，信號(hào)的衰減量從 -4dB 增大到 -30dB；用 CoPdAlO 膜（2μm 厚度）時(shí)，則從 -15dB 增大到 -57dB?？梢?jiàn)其抑制電磁噪聲的效果顯著。
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