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???????? “翻轉芯片焊球點陣排列”是一種表面貼片封裝技術，使用翻轉芯片與焊球點陣排列相結合的結構。然而，芯片封裝的最終質量受制作中每個工藝過程的影響。因此，對于某些工藝流程的實時檢測將會在整個工藝流程中起到及其重要的作用。非接觸檢測技術不但可以檢測到芯片中的微觀特性,對器件不會造成損壞,而且諸如自動光學檢測,自動X 射線檢測等還能提供良好的工藝控制信息。本文概述了FCBGA芯片封裝生產(chǎn)工藝特點以及封裝工藝流程，并介紹了運用于其中的光學檢測和X射線檢測等幾種非接觸檢測技術,著重介紹其中的自動光學檢測的基本原理及檢測算法，這些方法對于芯片封裝工藝中的缺陷檢測有重要意義。
關鍵詞：FCBGA；芯片封裝；非接觸檢測；自動光學檢測；AOI
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光學檢測
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