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激光修調(diào)工藝
GSI 集團公司深圳代表處 王迎松
采用先進的激光工藝，對硅上集成電路進行修調(diào)（trimming）時，不需要物理接觸，可以大大減少電路上pad 的數(shù)目；同時，激光修調(diào)工藝可以實現(xiàn)對電路中的薄膜電阻阻值高精密的調(diào)整，等等，半導體集成電路制造商可以大大提高產(chǎn)品的成品率、實現(xiàn)更多以及更高精度的電路功能、獲得更高的利回饋?，F(xiàn)在，全球超過70%的模擬電路半導體公司正在采用基于激光的修調(diào)工藝
（trimming）和融絲（link-blowing）工藝，來提高集成電路的性能和縮短新產(chǎn)品的上市周期，以獲得更高的利潤空間。全球有超過700 臺GSI 集團公司的硅上集成電路激光修調(diào)系統(tǒng)（如圖1）在運轉(zhuǎn)。
GSI 集團公司深圳代表處 王迎松
采用先進的激光工藝，對硅上集成電路進行修調(diào)（trimming）時，不需要物理接觸，可以大大減少電路上pad 的數(shù)目；同時，激光修調(diào)工藝可以實現(xiàn)對電路中的薄膜電阻阻值高精密的調(diào)整，等等，半導體集成電路制造商可以大大提高產(chǎn)品的成品率、實現(xiàn)更多以及更高精度的電路功能、獲得更高的利回饋?，F(xiàn)在，全球超過70%的模擬電路半導體公司正在采用基于激光的修調(diào)工藝
（trimming）和融絲（link-blowing）工藝，來提高集成電路的性能和縮短新產(chǎn)品的上市周期，以獲得更高的利潤空間。全球有超過700 臺GSI 集團公司的硅上集成電路激光修調(diào)系統(tǒng)（如圖1）在運轉(zhuǎn)。
激光
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