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MEMS是指微型化的器件或器件的組合，把電子功能與機械的、光學的或其他的功能相結(jié)合的綜合集成系統(tǒng)，采用微型結(jié)構(gòu)，使之在極小的空間內(nèi)達到智能化的功效。MEMS是一門多學科交叉的新興學科，涉及精密機械、微電子材料科學、微細加工、系統(tǒng)與控制等技術(shù)學科和物理、化學、力學、生物學等基礎學科。它將在21世紀的信息、通信、航空航天、生物醫(yī)療等多方面獲得重大突破，從而對世界科技、經(jīng)濟發(fā)展和國防建設帶來深遠響，德國Weissler把MEMS稱為系統(tǒng)工業(yè)發(fā)展所需要的‘維生素”。MEMS具有以下幾個非約束性的特征：
（l） 尺寸在毫米到微米范圍內(nèi)，區(qū)別于傳統(tǒng)的宏觀機械：
?。?） 以硅微加工技術(shù)為主要的制造技術(shù)：
?。?） 在無塵室大批量、低成本生產(chǎn)，使性價比比傳統(tǒng)“機械”制造技術(shù)大幅度地提高；
（4） MEMS中的機械不限于力學中的機械，它代表一切具有能量轉(zhuǎn)化、傳輸?shù)裙δ艿男?、熱、光、磁、化學、生物等效應：
?。?） MEMS的目標是“微機械”與IC（ Integrated circle）結(jié)合的微系統(tǒng)，并向智能化方向發(fā)展。
?
微機電系統(tǒng)
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