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使用有限元方法,分析了壓力傳感器力敏電阻條工作時(shí)的自身發(fā)熱對(duì)傳感器零點(diǎn)輸出的影響,結(jié)果表明:由于電阻工作時(shí)的發(fā)熱引起傳感器溫度分布的不均勻,即便組成壓力傳感器電橋的力敏電阻條參數(shù)完全匹配,傳感器也可能存在零點(diǎn)輸出。
關(guān)鍵詞: 壓力傳感器;壓阻效應(yīng);零點(diǎn)輸出;硅
Abstract : Using FEM (finite element method) ,the influence of the heat generated by the working piezoresistor of a pressure sen2 sor to the zero point output of the sensor is analyzed ,and the result shows :because of the uneven temperature distribution caused by
the heat of piezoresistor’s work ,there is a offset of the output of the bridge even though the electronic parameters of the bridge’s resisters are fully matched to each other.
Key words : pressure sensor ;piezoresistivity ;zero point output ;silicon
關(guān)鍵詞: 壓力傳感器;壓阻效應(yīng);零點(diǎn)輸出;硅
Abstract : Using FEM (finite element method) ,the influence of the heat generated by the working piezoresistor of a pressure sen2 sor to the zero point output of the sensor is analyzed ,and the result shows :because of the uneven temperature distribution caused by
the heat of piezoresistor’s work ,there is a offset of the output of the bridge even though the electronic parameters of the bridge’s resisters are fully matched to each other.
Key words : pressure sensor ;piezoresistivity ;zero point output ;silicon
傳感器
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