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?????????在顯微圖像的尺寸測(cè)量中，由于各種因素的影響，測(cè)量結(jié)果不可避免地存在著誤差。為了充分認(rèn)識(shí)并進(jìn)而減小這些誤差，提高測(cè)量精度，文章對(duì)標(biāo)準(zhǔn)件標(biāo)定、顯微光學(xué)系統(tǒng)的景深、對(duì)焦、光照亮度以及溫度等影響測(cè)量結(jié)果的誤差源作了細(xì)致的研究，給出了半導(dǎo)體芯片電路線(xiàn)寬顯微測(cè)量結(jié)果及精度分析。
關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體芯片，顯微測(cè)量，精度分析
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