2019年7月1日，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)部宣布，將對(duì)用于制造智能手機(jī)與電視機(jī)中OLED屏所用的“氟化聚酰亞胺”、半導(dǎo)體制造過程中必須使用的“光刻膠”和“高純度氟化氫”等半導(dǎo)體材料，加強(qiáng)面向韓國的出口管制。7月4日起正式施行。

距離出口管制實(shí)施，已經(jīng)過去約3周時(shí)間，期間最引人關(guān)注的并非日本幾乎壟斷的光刻膠和氟化PI材料，反而是高純度氟化氫。

《韓民族日?qǐng)?bào)》7月12日?qǐng)?bào)道，韓國政府官員11日表示，俄羅斯最近通過外交途徑向韓國政府方面表示，有意向韓國企業(yè)供應(yīng)本國生產(chǎn)的氟化氫。

7月16日，據(jù)韓媒報(bào)道，為了應(yīng)對(duì)日本對(duì)韓國半導(dǎo)體材料出口限制，SK海力士已經(jīng)開始測(cè)試從中國進(jìn)口氟化氫原料，而三星近日則大規(guī)模從西安采購高純度氟化氫。

——為何偏偏是“氟化氫”？

氟化氫（hydrogen fluoride），標(biāo)況下為帶有強(qiáng)烈刺激性氣味的無色透明液體，在常溫常壓下極易揮發(fā)成白色煙霧，能與一般金屬、金屬氧化物以及氫氧化物發(fā)生反應(yīng)，腐蝕性極強(qiáng)，能腐蝕玻璃和硅酸鹽而生產(chǎn)四氟化硅，易溶于水和醇，難溶于有機(jī)溶劑。

氟化氫用途非常廣泛，高純度的氟化氫在半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)中扮演著不可或缺的重要角色，可用于電子工業(yè)大規(guī)模集成電路的刻蝕及清洗。

半導(dǎo)體制造所用的高純度氟化氫對(duì)于所有單項(xiàng)金屬雜質(zhì)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)要求極為嚴(yán)苛。高純度氫氟酸在生產(chǎn)過程中還沒達(dá)到實(shí)際所需要的酸濃度時(shí)，需要儲(chǔ)存在特制設(shè)備內(nèi)調(diào)節(jié)酸的濃度制備產(chǎn)品。由于對(duì)雜質(zhì)含量的要求極為苛刻，如何在儲(chǔ)存環(huán)節(jié)中避免二次污染，是重要的難題。目前國際上使用高純聚四氟乙烯等作為設(shè)備內(nèi)襯、管路及閥件材料，已經(jīng)可以更有效地保存高純度氫氟酸，但是保存的時(shí)間亦不能太久。所以，晶圓廠對(duì)于電子級(jí)氟化氫或氫氟酸的原材料，往往是小批量、一批一批購買，買來即用。

因此，7月4日之后，三星和SK海力士晶圓廠所用的高純氟化氫的庫存就顯得頗為緊張，快速尋找替代供應(yīng)商已是迫在眉睫。

——三星和海力士尋求替代供應(yīng)商，中國企業(yè)從中扮演重要角色

7月16日，快科技報(bào)道，SK海力士已經(jīng)開始測(cè)試韓國SoulBrain公司供應(yīng)的高純度氟化氫材料，而據(jù)悉三星也已經(jīng)在旗下的半導(dǎo)體制造工廠中應(yīng)用了SoulBrain公司的氟化氫材料。

秀博瑞殷（西安）電子材料公司是SoulBrain在中國的子公司。而據(jù)多氟多官方透露，目前多氟多具有1萬噸電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)線，是UPSS級(jí)氫氟酸的替代進(jìn)口產(chǎn)品，而秀博瑞殷是多氟多客戶之一！

7月17日，澎湃新聞透露，韓國三星和SK海力士要求一家本土供應(yīng)商增加芯片制造所需的關(guān)鍵化學(xué)品供應(yīng)，已防止生產(chǎn)受到阻礙。Foosung的高管表示，“他們（指三星和海力士）幾乎每天都在檢查，以獲得更多的供應(yīng)。

據(jù)三美股份招股說明書透露，F(xiàn)oosung集團(tuán)在2017、2018年均為公司氟化氫產(chǎn)品的第一大客戶。并且，三美股份與三星此前的高純度氟化氫供應(yīng)商森田化學(xué)工業(yè)合資成立“森美化工”，銷售無水氟化氫、氟化合物產(chǎn)品及副產(chǎn)品。

除此之外，聯(lián)創(chuàng)股份日前透露，其控股子公司山東華安新材料有限公司經(jīng)營范圍有氫氟酸產(chǎn)品，一直是韓國Foosung集團(tuán)的優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商。

電子化工新材料產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟7月16日消息，濱化集團(tuán)電子級(jí)氫氟酸已成功拿到部分韓國半導(dǎo)體廠商的批量訂單。

據(jù)報(bào)道，韓國在投資國內(nèi)技術(shù)研發(fā)的同時(shí)也在尋找多元化市場(chǎng)。此次濱化集團(tuán)經(jīng)過多批次的樣品檢測(cè)和小批量試驗(yàn)后，最終與韓國企業(yè)建立正式合作伙伴關(guān)系。據(jù)悉，目前陸續(xù)有韓國企業(yè)向?yàn)I化集團(tuán)下了批量訂單。

——日韓“氟化氫”禁運(yùn)，短期可能波及包括華為在內(nèi)的中國企業(yè)

據(jù)日本媒體分析，日本對(duì)韓國出口管制或波及中國。日本的貿(mào)易統(tǒng)計(jì)顯示，日本2018年向韓國出口了約36,800噸氟化氫。而韓國氟化氫的最大進(jìn)口國是中國，但如果僅限于用于半導(dǎo)體晶圓清洗的超高純度產(chǎn)品，則日本的StellaChemifa和森田化學(xué)工業(yè)掌握約9成份額。從中國進(jìn)口的被認(rèn)為是低純度產(chǎn)品，用途不同。

據(jù)韓國貿(mào)易協(xié)會(huì)的數(shù)據(jù)，韓國2018年向中國出口了4050噸氟化氫。韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部的相關(guān)人士表示：從日本進(jìn)口的氟化氫在韓國加工后，由三星電子和SK海力士在韓國的半導(dǎo)體工廠使用，其中一部分被出口到兩家企業(yè)的中國工廠，并強(qiáng)調(diào)進(jìn)行了嚴(yán)格管理：在將氟化氫出口到中國之時(shí)，政府要求供應(yīng)商簽署保證書，寫明最終用戶并嚴(yán)格遵守。形成了如出售給第三方或虛假申報(bào)被發(fā)覺被追究法律責(zé)任的體制。

據(jù)報(bào)道稱，雖然需要辦理手續(xù)，但韓國能以寬松的條件將從日本進(jìn)口的材料順利出口到中國，是因?yàn)槿毡菊畬㈨n國列入作為出口目的地值得信賴的“白名單國家”。如果從白名單中剔除，審查和手續(xù)有可能變得更加嚴(yán)格，需要經(jīng)過復(fù)雜的手續(xù)。

報(bào)道引述中國的海關(guān)統(tǒng)計(jì)顯示，來自韓國的高純度氟化氫的進(jìn)口量2018年約為4000噸。其中大部分為日本制造，經(jīng)由韓國出口到中國。而從出口目的地來看，約7成是陜西省，約3成是江蘇省。陜西省西安市有三星電子的NAND型閃存工廠，而江蘇省無錫市有SK海力士的DRAM工廠。

三星和SK海力士在半導(dǎo)體存儲(chǔ)器全球份額上合計(jì)掌握5～7成。韓國的分析師認(rèn)為，三星在中國生產(chǎn)NAND型閃存的25％，而SK海力士在中國生產(chǎn)DRAM的40％。如果日本的出口管制強(qiáng)化導(dǎo)致氟化氫的對(duì)韓出口停滯，韓國對(duì)中國的出口也將隨之停滯，兩家企業(yè)的半導(dǎo)體生產(chǎn)有可能受到影響。報(bào)道引述了解半導(dǎo)體行業(yè)的一名中國證券公司的分析師表示，預(yù)計(jì)尤其將對(duì)華為技術(shù)等企業(yè)產(chǎn)生較大影響，還可能對(duì)個(gè)人電腦和服務(wù)器等廠商產(chǎn)生影響。

韓國廠商減少半導(dǎo)體生產(chǎn)的情況下，中國難以通過國產(chǎn)來彌補(bǔ)。中國在高科技產(chǎn)業(yè)培育政策“中國制造2025”中將半導(dǎo)體指定為重點(diǎn)領(lǐng)域，力爭(zhēng)到2020年將自給率提高至40%。目前中國的半導(dǎo)體自給率被認(rèn)為在10%多一點(diǎn)。雖然中國大力推進(jìn)半導(dǎo)體的國產(chǎn)化，美國、日本和荷蘭的企業(yè)依然壟斷著大部分先進(jìn)裝置的市場(chǎng)。在中國的半導(dǎo)體行業(yè)，不少觀點(diǎn)認(rèn)為“越是高性能半導(dǎo)體，越難實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，需要幾年時(shí)間”，目前仍不得不依賴進(jìn)口。

日本經(jīng)濟(jì)新聞報(bào)道說，三星等韓國企業(yè)已開始尋找替代材料，不過情況不容樂觀。半導(dǎo)體基板的清洗和電路開槽使用的氟化氫方面，昭和電工只有川崎事業(yè)所（川崎市）一處生產(chǎn)基地。日本Stella Chemifa雖然在新加坡也生產(chǎn)氟化氫，但日本有分析師表示：韓國廠商在中國的半導(dǎo)體生產(chǎn)只選擇日本產(chǎn)蝕刻氣體，證明在純度等品質(zhì)層面日本產(chǎn)蝕刻氣體難以被替代。今后也很可能會(huì)形成日本企業(yè)直接向中國出口的全新供應(yīng)鏈形式。

——中國氟化氫產(chǎn)能很大，但是亟待往高端化發(fā)展

中國氟化氫生產(chǎn)主要集中在浙江、福建、江蘇、山東、江西、內(nèi)蒙等地。20世紀(jì)90年代以來，由于含氟制冷劑、發(fā)泡劑、清洗劑市場(chǎng)的拓展，中國氟化氫生產(chǎn)得到高速發(fā)展。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2010年中國的氟化氫年產(chǎn)能達(dá)到144.4萬噸，2014年達(dá)到165.2萬噸，年均增長約為3.31%。到了2018年，中國氟化氫生產(chǎn)線有103條（不包括甘肅白銀自用），年產(chǎn)能達(dá)到192.1萬噸，實(shí)際產(chǎn)量158.8萬噸。

然而，中國目前生產(chǎn)的氟化氫多為中低端產(chǎn)品，在超高純氟化氫技術(shù)方面還處于中低階段，產(chǎn)品品質(zhì)與日本企業(yè)存在較大差距，超高純氟化氫仍然依賴進(jìn)口。

目前，國內(nèi)外對(duì)于高純氫氟酸還未有通用標(biāo)準(zhǔn)，國外高純氫氟酸生產(chǎn)企業(yè)及應(yīng)用企業(yè)主要以半導(dǎo)體行業(yè)的需求為分級(jí)基準(zhǔn)，參考的是SEMI國際通用標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)。

中國目前有能力生產(chǎn)高純氫氟酸的企業(yè)約有10家，主要是多氟多、凱圣氟化學(xué)、濱化集團(tuán)、江陰潤瑪?shù)?。中國企業(yè)通常參照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)“工業(yè)高純氫氟酸HG/T 4059-2013標(biāo)準(zhǔn)”，此標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)產(chǎn)品中雜質(zhì)離子含量的不同將高純氫氟酸分為EL級(jí)、UP級(jí)、UPS級(jí)、UPSS級(jí)、UPSSS級(jí)。

兩項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)的不同之處在于中國國內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)于國外標(biāo)準(zhǔn)而言較為寬松，個(gè)別指標(biāo)不做要求。從標(biāo)準(zhǔn)的執(zhí)行情況和修訂的范圍來看，中國的高純氫氟酸在產(chǎn)品質(zhì)量和應(yīng)用領(lǐng)域上都與國外企業(yè)存在較大差距，也間接說明了中國半導(dǎo)體行業(yè)與國外的技術(shù)水平差距。

中國氟化氫亟待向高端化發(fā)展，此次日本對(duì)韓限制出口半導(dǎo)體材料，對(duì)于中國企業(yè)而言，既是機(jī)遇，亦是挑戰(zhàn)！