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晶圓對晶圓的3D IC技術(shù)

h1654155971.8456 ? 來源:YXQ ? 2019-08-14 11:21 ? 次閱讀
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根據(jù)臺積電在第二十四屆年度技術(shù)研討會中的說明,SoIC是一種創(chuàng)新的多芯片堆疊技術(shù),是一種晶圓對晶圓(Wafer-on-wafer)的鍵合(Bonding)技術(shù),這是一種3D IC制程技術(shù),可以讓臺積電具備直接為客戶生產(chǎn)3D IC的能力。

讓外界大感驚艷的是,SoIC技術(shù)是采用硅穿孔(TSV)技術(shù),可以達(dá)到無凸起的鍵合結(jié)構(gòu),可以把很多不同性質(zhì)的臨近芯片整合在一起,而且當(dāng)中最關(guān)鍵、最神秘之處,就在于接合的材料,號稱是價值高達(dá)十億美元的機(jī)密材料,因此能直接透過微小的孔隙溝通多層的芯片,達(dá)成在相同的體積增加多倍以上的性能,簡言之,可以持續(xù)維持摩爾定律的優(yōu)勢。

據(jù)了解,SoIC是基于臺積電的CoWoS(Chip on wafer on Substrate)與多晶圓堆疊(WoW)封裝技術(shù)開發(fā)的新一代創(chuàng)新封裝技術(shù),未來將應(yīng)用于十納米及以下的先進(jìn)制程進(jìn)行晶圓級的鍵合技術(shù),被視為進(jìn)一步強(qiáng)化臺積電先進(jìn)納米制程競爭力的利器。2018年10月,臺積電在第三季法說會上,已針對萬眾矚目的SoIC技術(shù)給出明確量產(chǎn)時間,預(yù)期2020年開始挹注臺積電的營收貢獻(xiàn),至2021年將會大量生產(chǎn),挹注臺積電更加顯著的營收貢獻(xiàn)。

六月,臺積電赴日本參加VLSI技術(shù)及電路研討會發(fā)表技術(shù)論文時,也針對SoIC技術(shù)揭露論文,論文中表示SoIC解決方案將不同尺寸、制程技術(shù)及材料的裸晶堆疊在一起。相較于傳統(tǒng)使用微凸塊的三維積體電路解決方案,臺積電的SoIC的凸塊密度與速度高出數(shù)倍,同時大幅減少功耗。此外,SoIC能夠利用臺積電的InFO或CoWoS的后端先進(jìn)封裝至技術(shù)來整合其他芯片,打造強(qiáng)大的3D×3D系統(tǒng)級解決方案。

外界咸認(rèn),從臺積電最初提出的2.5版CoWoS技術(shù),至獨吃蘋果的武器InFO(整合型扇型封裝)技術(shù),下一個稱霸晶圓代工產(chǎn)業(yè)的,就是SoIC技術(shù)。

攤開臺積電公布的2019年第一季財報,10納米及以下納米制程的營收貢獻(xiàn),已大大超越16納米制程的營收貢獻(xiàn),凸顯出未來十納米及以下先進(jìn)制程已勢不可當(dāng)。

也因此,2019年,電子設(shè)計自動化(EDA)大廠,如益華電腦(Cadence)、明導(dǎo)國際(Mentor)、ANSYS皆已相繼推出支援臺積電SoIC的解決方案,并已通過臺積電認(rèn)證,準(zhǔn)備迎接SoIC輝煌時代的來臨。

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