行業(yè)背景

半導(dǎo)體制造業(yè)可以說是現(xiàn)代電子工業(yè)的核心產(chǎn)業(yè)，廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通信、汽車、醫(yī)療等領(lǐng)域。而在半導(dǎo)體生產(chǎn)加工過程中，如刻蝕、 鍍膜、 擴(kuò)散、沉積、退火等環(huán)節(jié)，真空泵都是必不可少的關(guān)鍵設(shè)備，它可以構(gòu)建穩(wěn)定受控的真空環(huán)境，以避免產(chǎn)品出現(xiàn)污染、氧化或者其他缺陷，對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)品的品質(zhì)、壽命以及性能都有著不可忽視的影響。

為保證真空泵安全穩(wěn)定運(yùn)行，物通博聯(lián)提供基于工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)的數(shù)據(jù)采集遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)真空泵運(yùn)行狀態(tài)及工藝參數(shù)的在線監(jiān)控與預(yù)警，從而幫助工廠及時(shí)采取措施，保證生產(chǎn)安全與產(chǎn)品質(zhì)量。

行業(yè)痛點(diǎn)

數(shù)據(jù)采集困難：真空泵通常分布在生產(chǎn)現(xiàn)場或遠(yuǎn)程地點(diǎn)，傳統(tǒng)的手動(dòng)采集數(shù)據(jù)方式需要人工去現(xiàn)場抄寫數(shù)據(jù)，工作量大，因此需要數(shù)據(jù)采集實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。

故障預(yù)警挑戰(zhàn)：真空泵運(yùn)行出現(xiàn)故障無法及時(shí)感知，一旦出現(xiàn)故障就會(huì)影響生產(chǎn)的穩(wěn)定性和安全性，同時(shí)造成物料浪費(fèi)，因此需要故障預(yù)警報(bào)警機(jī)制。

數(shù)據(jù)應(yīng)用難題：真空泵產(chǎn)生的數(shù)據(jù)包括壓強(qiáng)、溫度、振動(dòng)等多種參數(shù)，需要進(jìn)行實(shí)時(shí)處理和分析，需要數(shù)據(jù)報(bào)表及展示分析渠道，實(shí)現(xiàn)提質(zhì)增效、節(jié)能優(yōu)化等。

解決方案

半導(dǎo)體工業(yè)正在逐步實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)，真空泵通過PLC自動(dòng)化控制已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用，因此只需要將物通博聯(lián)工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)接入到PLC，就能實(shí)時(shí)采集PLC內(nèi)真空泵的工作參數(shù)（壓強(qiáng)、溫度、振動(dòng)等）并通過5G/4G/WIFI/以太網(wǎng)等方式上傳到云平臺(tái)或本地上位機(jī)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控、故障報(bào)警、遠(yuǎn)程控制及遠(yuǎn)程維護(hù)等功能。

通過手機(jī)端和電腦端，工廠可以遠(yuǎn)程查看工藝組態(tài)畫面，了解每臺(tái)真空泵的運(yùn)行狀態(tài)、工藝參數(shù)、故障信息、運(yùn)維記錄等，從而實(shí)現(xiàn)及時(shí)管理控制，維護(hù)安全穩(wěn)定的生產(chǎn)秩序。

系統(tǒng)功能

1、數(shù)據(jù)采集：系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)采集真空泵的運(yùn)行狀態(tài)數(shù)據(jù)，如壓強(qiáng)、溫度、振動(dòng)等，并將這些數(shù)據(jù)生成可視化圖表，方便快速查詢實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)和歷史數(shù)據(jù)。

2、組態(tài)監(jiān)控：系統(tǒng)可以自定義云組態(tài)，在線查看每臺(tái)真空泵工作狀態(tài)和參數(shù)變化，支持自定義編輯，通過拖拉拽添加/刪除控件，操作簡單易懂。

3、遠(yuǎn)程監(jiān)控：通過手機(jī)或電腦等智能終端，讓用戶可以隨時(shí)隨地查看真空泵的實(shí)時(shí)運(yùn)行狀態(tài)和歷史數(shù)據(jù)，提高了設(shè)備的管理效率和生產(chǎn)效益。

4、異常處理：當(dāng)真空泵出現(xiàn)異常情況時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)報(bào)警并記錄異常信息，便于用戶快速發(fā)現(xiàn)并解決問題，減少生產(chǎn)損失與物料浪費(fèi)。

5、遠(yuǎn)程維護(hù)：工程師可以對(duì)異地PLC進(jìn)行遠(yuǎn)程編程調(diào)試和遠(yuǎn)程上下載程序等操作，減少出差和花銷，提高工作效率和售后服務(wù)質(zhì)量。

6、數(shù)據(jù)分析：根據(jù)采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和處理，可以了解設(shè)備性能、能耗水平，也能預(yù)測可能出現(xiàn)的問題，采取措施進(jìn)行管理優(yōu)化，提高生產(chǎn)效率。

系統(tǒng)效益

通過對(duì)真空泵的實(shí)時(shí)監(jiān)控和故障報(bào)警，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體芯片生成過程的真空環(huán)境進(jìn)行精細(xì)控制，保證過程中的參數(shù)穩(wěn)定正常，能夠保證企業(yè)提高設(shè)備效率和可靠性，減少停工和維護(hù)時(shí)間，為企業(yè)帶來更多的經(jīng)濟(jì)效益。

審核編輯 黃宇