1：工作原理

●壓阻式：電阻應(yīng)變片是主要組成部分，基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)，當(dāng)壓敏電阻受壓后產(chǎn)生電阻變化，通過放大器放大并采用標(biāo)準壓力標(biāo)定，即可進行壓力檢測

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陶瓷壓力傳感器

：基于壓阻效應(yīng)，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片產(chǎn)生微小的形變，電子線路借此測量傳感器所承受的壓力

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擴散硅壓力傳感器

：工作原理也是基于壓阻效應(yīng)，被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，利用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準測量信號

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藍寶石壓力傳感器

：利用應(yīng)變電阻式工作原理，采用硅 - 藍寶石作為半導(dǎo)體敏感元件，具有無與倫比的計量特性，對溫度變化不敏感，即使在高溫條件下，也有著很好的工作特性，藍寶石的抗輻射特性極強，且硅 - 藍寶石半導(dǎo)體敏感元件無 p-n 漂移

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壓電式壓力傳感器

：基于壓電效應(yīng)，某些電介質(zhì)在沿一定方向上受到外力的作用而變形時，其內(nèi)部會產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時在它的兩個相對表面上出現(xiàn)正負相反的電荷。當(dāng)外力去掉后，它又會恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)。壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量，因為經(jīng)過外力作用后的電荷，只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存，所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態(tài)的應(yīng)力

2：特點

●傳統(tǒng)的

壓力傳感器

以機械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，

半導(dǎo)體壓力傳感器

應(yīng)運而生，其特點是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著 MEMS 技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高

審核編輯 黃宇