由于輕薄短小已經(jīng)成為電子消費(fèi)品的發(fā)展方向，既能省掉材料及工序，又能縮少元器件尺寸的晶圓級(jí)封裝工藝，已經(jīng)越來(lái)越普遍了。

晶圓級(jí)封裝可分為扇入型及扇出型，如果封裝后的芯片尺寸和產(chǎn)品尺寸在二維平面上是一樣大，芯片有足夠的面積把所有的 I/O 接口都放進(jìn)去，就會(huì)采用扇入型。

如果芯片的尺寸不足以放下所有 I/O 接口時(shí)，就需要扇出型，當(dāng)然一般的扇出型在面積擴(kuò)展的同時(shí)也加了有源和/或無(wú)源器件以形成 SIP。

扇出型晶圓級(jí)封裝工藝流程:

晶圓的制備及切割– 將晶圓放入劃片膠帶中，切割成各個(gè)單元準(zhǔn)備金屬載板– 清潔載板及清除一切污染物

層壓粘合– 通過(guò)壓力來(lái)激化粘合膜

重組晶圓– 將芯片從晶圓拾取及放置在金屬載板上

制模– 以制模復(fù)合物密封載板

移走載板– 從載板上移走已成型的重建芯片

排列及重新布線– 在再分布層上(RDL)，提供金屬化工藝制造 I/O 接口

晶圓凸塊– 在I/O外連接口形成凸塊

切割成各個(gè)單元– 將已成型的塑封體切割

扇出型封裝“核心”市場(chǎng)，包括電源管理及射頻收發(fā)器等單芯片應(yīng)用，一直保持穩(wěn)定的增長(zhǎng)趨勢(shì)。扇出型封裝“高密度”市場(chǎng)，包括處理器、存儲(chǔ)器等輸入輸出數(shù)據(jù)量更大的應(yīng)用，市場(chǎng)潛力巨大。

環(huán)球儀器的FuzionSC貼片機(jī)，配合Innova直接晶圓送料器

具備以下優(yōu)勢(shì)：

最高精度(±10微米)、最高速度、最大面積組裝

支持最大達(dá)610毫米 x813毫米的基板

支持由AOI精度返饋進(jìn)行貼裝位置補(bǔ)償

軟件支持大量芯片的組裝

精準(zhǔn)的物料處理及熱度階段選項(xiàng)

可采用SECS-GEM系統(tǒng)追蹤晶片

FuzionSC貼片機(jī)兩大系列

Innova優(yōu)點(diǎn)：

可直接導(dǎo)入倒裝芯片及晶圓級(jí)裸晶片來(lái)進(jìn)行拾取及貼裝

可在同一平臺(tái)上進(jìn)行倒裝芯片、裸晶片及表面貼裝工序

具備單一晶圓送料(Innova)，或13個(gè)晶圓送料(Innova +)

無(wú)需上游晶圓分選

系統(tǒng)封裝應(yīng)用的最佳方案

支持最大達(dá)300毫米的晶圓

支持墨水和無(wú)墨水晶圓片陣列測(cè)繪

支持最大達(dá)610毫米x813毫米的基板

晶圓擴(kuò)張深度：可編程(Innova +)，由夾圈固定(Innova)

可直接導(dǎo)入倒裝或不倒裝芯片

具備晶片追蹤功能

新品導(dǎo)入或量產(chǎn)的最佳方案

Innova直接晶圓送料器參數(shù)