在半導(dǎo)體制造中，冷水機(jī)是關(guān)鍵的冷卻設(shè)備，液位傳感器則用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)冷卻液液位，防止設(shè)備因冷卻液不足而過熱損壞。

液位傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)冷水機(jī)中冷卻液的液位高度，確保其始終保持在安全水平。一旦液位低于設(shè)定值，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)觸發(fā)報(bào)警并啟動(dòng)補(bǔ)水機(jī)制，從而避免因冷卻液不足導(dǎo)致的設(shè)備過熱和損壞。

XM-XT 700 系列連續(xù)液位變送器

在半導(dǎo)體冷水機(jī)運(yùn)行過程中，冷卻液的液位需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)以確保其始終處于安全范圍內(nèi)。Gems XM-XT 700 的高分辨率和連續(xù)輸出功能，能夠?qū)崟r(shí)反饋液位變化，幫助操作人員及時(shí)調(diào)整冷卻液的補(bǔ)充或排放，避免因液位異常導(dǎo)致的設(shè)備過熱或冷卻液溢出。

由于采用直接測(cè)量方式，XM-XT 700不受溫度、壓力或空氣濕度變化的影響，確保了在各種環(huán)境條件下的可靠性。這對(duì)于半導(dǎo)體制造中對(duì)環(huán)境要求嚴(yán)格的冷水機(jī)系統(tǒng)尤為重要，能夠保證設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。

LS-700 系列多點(diǎn)液位開關(guān)

在半導(dǎo)體冷水機(jī)中，冷卻液的液位需要在多個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，以確保設(shè)備的安全運(yùn)行。Gems LS-700的多點(diǎn)監(jiān)測(cè)功能能夠同時(shí)監(jiān)控多個(gè)液位點(diǎn)，提供更全面的液位保護(hù)。例如，可以在冷卻液的最低安全液位、正常運(yùn)行液位和最高液位處分別設(shè)置監(jiān)測(cè)點(diǎn)，確保設(shè)備在任何情況下都能正常運(yùn)行。

選擇合適的液位監(jiān)測(cè)設(shè)備，不僅能夠確保半導(dǎo)體冷水機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行，還能降低維護(hù)成本和運(yùn)營(yíng)風(fēng)險(xiǎn)。

Gems 的液位監(jiān)測(cè)解決方案不僅適用于半導(dǎo)體冷水機(jī)，還廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

化學(xué)輸送系統(tǒng)

清洗設(shè)備

沉積設(shè)備

擴(kuò)散爐

氣體洗滌器

離子注入系統(tǒng)

循環(huán)氣

晶圓蝕刻設(shè)備

晶圓制備設(shè)備