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超臨界二氧化碳(sCO?)動力循環(huán)技術(shù)原理及其在航空發(fā)動機(jī)領(lǐng)域的應(yīng)用價值

湖南泰德航空技術(shù)有限公司 ? 2025-09-22 10:26 ? 次閱讀
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能源與環(huán)境問題日益成為制約全球發(fā)展的關(guān)鍵因素,航空航天領(lǐng)域作為高端裝備制造業(yè)的核心,對高效、緊湊、清潔的動力系統(tǒng)需求尤為迫切。超臨界二氧化碳(sCO?)動力循環(huán)技術(shù)因其獨(dú)特的熱力學(xué)特性和工程優(yōu)勢,近年來成為國際能源與動力領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。與傳統(tǒng)動力循環(huán)相比,sCO?動力循環(huán)在熱效率、功率密度和環(huán)境適應(yīng)性等方面展現(xiàn)出顯著潛力,特別是在航空發(fā)動機(jī)、空間動力和艦船動力等國防科技領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。本文將從其技術(shù)特點(diǎn)、在航空發(fā)動機(jī)中的作用、工作原理、國內(nèi)外研究現(xiàn)狀以及所能解決的關(guān)鍵問題等方面進(jìn)行詳細(xì)闡述。

一、sCO?動力循環(huán)的技術(shù)特點(diǎn)與基本原理

超臨界二氧化碳動力循環(huán)是一種以超臨界狀態(tài)的CO?作為工質(zhì)的熱力循環(huán)系統(tǒng)。當(dāng)二氧化碳被加壓至7.38兆帕、加熱至31℃以上時,會進(jìn)入一種超越氣態(tài)和液態(tài)特性的"超臨界態(tài)"。此時,二氧化碳兼具高密度(接近于液體)和低粘度(接近于氣體)的特性,擴(kuò)散系數(shù)約為液體的100倍,具有流動性強(qiáng)、傳熱效率高、可壓縮性小等特點(diǎn)。

sCO?動力循環(huán)主要包括閉式布雷頓循環(huán)、用于余熱回收的朗肯循環(huán)和以純氧直燃為核心的半開式布雷頓循環(huán)(Allam循環(huán))三大類。系統(tǒng)主要由壓氣機(jī)、熱源、渦輪、換熱器、控制系統(tǒng)、密封系統(tǒng)等組成。其最顯著的技術(shù)特點(diǎn)是循環(huán)過程中壓氣機(jī)壓縮功只占渦輪輸出功的30%,相對于氦氣輪機(jī)循環(huán)的45% 和燃?xì)廨啓C(jī)循環(huán)的50%~60%,具有明顯的功率密度優(yōu)勢。

sCO?動力循環(huán)的工作原理是:超臨界二氧化碳經(jīng)過壓氣機(jī)升壓后,利用換熱器將工質(zhì)等壓加熱,然后進(jìn)入膨脹機(jī)做功,帶動發(fā)電機(jī)發(fā)電,最后工質(zhì)進(jìn)入冷卻器恢復(fù)到初始狀態(tài),再進(jìn)入壓氣機(jī)形成閉式循環(huán)。整個過程中二氧化碳都處于超臨界態(tài),沒有相變,做功能力強(qiáng)。

二、sCO?動力循環(huán)在航空領(lǐng)域的關(guān)鍵作用

在航空發(fā)動機(jī)領(lǐng)域,sCO?動力循環(huán)技術(shù)正在引發(fā)革命性的變革,其主要應(yīng)用價值體現(xiàn)在以下幾個方面:

2.1 熱管理與熱防護(hù)

高超音速飛行器在高速飛行時面臨嚴(yán)峻的熱環(huán)境,受氣動加熱、內(nèi)部設(shè)備散熱、推進(jìn)系統(tǒng)散熱等多因素耦合影響。sCO?閉式布雷頓循環(huán)為解決這一挑戰(zhàn)提供了創(chuàng)新方案。研究人員提出了一種應(yīng)用于航空發(fā)動機(jī)熱防護(hù)、以超臨界CO?為工質(zhì)的閉式布雷頓冷卻循環(huán)方案。研究表明,回?zé)嵫h(huán)能夠提高系統(tǒng)熱效率約4%,但熱沉利用率降低50%;間冷循環(huán)能夠降低系統(tǒng)熱沉消耗8%,但會導(dǎo)致系統(tǒng)總質(zhì)量增大。超臨界CO?簡單循環(huán)被證明是最符合發(fā)動機(jī)中間工質(zhì)冷卻循環(huán)工作需求的循環(huán)結(jié)構(gòu)。

2.2 緊湊高效的動力轉(zhuǎn)換

sCO?動力循環(huán)具有高功率密度的明顯優(yōu)勢,可廣泛應(yīng)用于航空發(fā)動機(jī)、無人機(jī)、靶機(jī)、eVTOL等飛行器的燃油、潤滑、冷卻系統(tǒng)中。由于系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,體積僅為普通水蒸氣機(jī)組的1/25大小,非常適合對空間和重量要求苛刻的航空應(yīng)用場景。在600℃溫度下,sCO?發(fā)電效率比蒸汽機(jī)組高3~5個百分點(diǎn),這一優(yōu)勢在航空動力系統(tǒng)中尤為重要。

2.3 余熱回收利用

航空發(fā)動機(jī)尾氣余熱回收理論發(fā)電量在500kW~2MW區(qū)間,余熱溫度為500~600℃。sCO?動力循環(huán)在余熱回收領(lǐng)域具有顯著優(yōu)勢,熱源溫度低時,sCO?朗肯循環(huán)將比布雷頓循環(huán)獲得更高的循環(huán)效率。中國航發(fā)湖南動力機(jī)械研究所開發(fā)了渦軸發(fā)動機(jī)排氣余熱回收的百千瓦級sCO?閉式布雷頓循環(huán)的原理樣機(jī),并實現(xiàn)設(shè)計轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn),突破了高功率密度壓氣機(jī)、輕質(zhì)高效緊湊換熱器、旋轉(zhuǎn)動密封等關(guān)鍵技術(shù)。

三、國內(nèi)外sCO?動力循環(huán)相關(guān)研究工作

超臨界二氧化碳動力循環(huán)技術(shù)的發(fā)展離不開全球科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)的持續(xù)投入,國內(nèi)外已形成多維度、多層次的研究格局,推動著技術(shù)不斷進(jìn)步。

3.1 國際研究進(jìn)展

美國在 sCO?動力循環(huán)研究領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位,其能源部(DOE)自2000年左右起就在核能、太陽能及化石燃料 sCO?動力循環(huán)開展系統(tǒng)性部署。2004年,麻省理工學(xué)院(MIT)率先系統(tǒng)地研究了 sCO?閉式循環(huán)在核能中的應(yīng)用,為后續(xù)研究奠定了理論基礎(chǔ)。

桑迪亞國家實驗室作為美國 sCO?技術(shù)研發(fā)的核心機(jī)構(gòu),于2011年公布了世界第一套 sCO?閉式循環(huán)樣機(jī),首次證明了 sCO?動力循環(huán)系統(tǒng)的完整運(yùn)行能力,包括起動、加速、發(fā)電和關(guān)閉等關(guān)鍵過程的可控性。該實驗室 2012 年發(fā)表的研究成果詳細(xì)闡述了 sCO?布雷頓循環(huán)的性能特征,指出其在中等熱源溫度范圍內(nèi)的高轉(zhuǎn)換效率、緊湊尺寸和潛在的材料經(jīng)濟(jì)性優(yōu)勢。

歐洲國家也積極開展 sCO?動力循環(huán)研究。英國、德國、芬蘭等國在不同應(yīng)用領(lǐng)域推進(jìn)技術(shù)研發(fā),重點(diǎn)關(guān)注系統(tǒng)集成和關(guān)鍵部件優(yōu)化。例如,德國在航空發(fā)動機(jī)余熱回收應(yīng)用方面開展了多項研究,探索sCO?循環(huán)與燃?xì)鉁u輪的結(jié)合方式。

亞洲國家中,日本和韓國在 sCO?技術(shù)研發(fā)方面表現(xiàn)活躍。日本東京工業(yè)大學(xué)、韓國先進(jìn)科技研究所已研制出小功率級別的示范樣機(jī),主要集中在太陽能熱發(fā)電和工業(yè)余熱回收領(lǐng)域,為技術(shù)產(chǎn)業(yè)化積累了寶貴經(jīng)驗。

國際航空企業(yè)也認(rèn)識到 sCO?技術(shù)的潛力。GE航空航天對 sCO?動力循環(huán)與當(dāng)前主流動力循環(huán)的應(yīng)用領(lǐng)域及熱效率進(jìn)行了系統(tǒng)對比,明確了 sCO?循環(huán)在航空領(lǐng)域的應(yīng)用前景。雖然 GE 的 RISE 項目主要聚焦可持續(xù)燃料,但也為 sCO?技術(shù)與航空發(fā)動機(jī)的結(jié)合提供了技術(shù)參考。

超臨界二氧化碳(sCO?)動力循環(huán)技術(shù)

3.2 國內(nèi)研究進(jìn)展

國內(nèi)中國航發(fā)湖南動力機(jī)械研究所(中國航發(fā)動研所)、西安熱工研究院、中國科學(xué)院工程熱物理研究所、中國核動力研究院等也開展了系統(tǒng)的示范搭建。中國科學(xué)院工程熱物理研究所完成了國內(nèi)首次MW級sCO?閉式循環(huán)離心式壓縮機(jī)多進(jìn)口工況全載實驗,最高實驗轉(zhuǎn)速32,000 r/min,質(zhì)量流量約13 kg/s,總壓比接近2.0,等熵效率82%。

中國核動力研究設(shè)計院研發(fā)的"超碳一號"系統(tǒng)主要設(shè)備包括一個壓氣機(jī)、一個膨脹機(jī)、一個冷卻器、一個回?zé)崞骱鸵粋€換熱器,簡稱"兩機(jī)三器一系統(tǒng)"。2023年,該院聯(lián)合濟(jì)鋼國際在首鋼水鋼現(xiàn)場建設(shè)了2套15兆瓦超臨界二氧化碳余熱發(fā)電機(jī)組,項目中這項技術(shù)的優(yōu)勢展露無遺,場地需求及用水需求降低50%,發(fā)電效率提升42.7%,年發(fā)電量提升84%。

力學(xué)所高效潔凈燃燒課題組自2008年開始對該技術(shù)開展基礎(chǔ)研究和關(guān)鍵技術(shù)研發(fā),提出了自冷凝CO?跨臨界動力循環(huán)和CO?混合工質(zhì)跨臨界動力循環(huán),為避免超臨界CO?布雷頓循環(huán)的近臨界大壓比增壓過程、解決CO?跨臨界動力循環(huán)中亞臨界CO?冷凝問題提供了新思路。

超臨界二氧化碳(sCO?)動力循環(huán)技術(shù)

四、sCO?壓氣機(jī)的技術(shù)挑戰(zhàn)與解決方案

壓氣機(jī)作為sCO?動力循環(huán)的核心部件,其性能直接決定系統(tǒng)效率與可靠性。在sCO?動力循環(huán)系統(tǒng)中,壓氣機(jī)需在高壓、高轉(zhuǎn)速及近臨界區(qū)極端物性波動下穩(wěn)定運(yùn)行,這對其氣動設(shè)計、密封及材料等均提出了新的挑戰(zhàn)。

4.1 氣動設(shè)計挑戰(zhàn)

sCO?壓氣機(jī)的壓縮功和氣動效率與進(jìn)口狀態(tài)密切相關(guān),這是與傳統(tǒng)空氣工質(zhì)壓氣機(jī)顯著不同的氣動特點(diǎn)。為使循環(huán)達(dá)到高的綜合熱效率,離心式sCO?壓氣機(jī)需要盡可能降低壓縮功,此時要求sCO?壓氣機(jī)的進(jìn)氣條件不僅需盡量靠近CO?工質(zhì)的臨界點(diǎn),且還需要處于密度大的類液態(tài)區(qū)。此狀態(tài)下,sCO?壓氣機(jī)流體已經(jīng)嚴(yán)重偏離理想氣體假設(shè),目前成熟的基于傳統(tǒng)理想氣體工質(zhì)的壓氣機(jī)一維設(shè)計方法、三維數(shù)值模擬方法等均不再適用,必須開發(fā)與之相適的設(shè)計方法與數(shù)值模擬方法。

當(dāng)壓氣機(jī)進(jìn)口條件處于偏液態(tài)的近臨界區(qū)域時,壓氣機(jī)極易發(fā)生流場參數(shù)波動現(xiàn)象,但是對此類氣動不穩(wěn)定現(xiàn)象的流動機(jī)理和控制方法仍缺乏全面深入的認(rèn)識。因此,在實踐層面,現(xiàn)階段大多將壓氣機(jī)進(jìn)口放在偏離臨界點(diǎn)且偏氣態(tài)區(qū)域,以最大程度避免壓氣機(jī)氣動不穩(wěn)定的產(chǎn)生。但這樣一來,sCO?壓氣機(jī)就偏離了最高效熱力循環(huán)所要求的工作范圍。

4.2 尺寸效應(yīng)與制造工藝

sCO?壓氣機(jī)通常尺寸小且轉(zhuǎn)速很高,百千瓦發(fā)電量級的sCO?壓氣機(jī)葉輪外徑只有不到30mm,兆瓦發(fā)電量級的壓氣機(jī)葉輪外徑也僅有40~50mm。為避免振動引起的葉輪損壞,葉輪葉尖間隙占葉高的相對百分比將比常規(guī)空氣工質(zhì)的離心葉輪大1倍以上。尺寸效應(yīng)不僅引起氣動性能的損失,對旋轉(zhuǎn)密封也造成很大困難。

2022年,美國西南研究院發(fā)表了10MW太陽能光熱sCO?動力循環(huán)主壓氣機(jī)的試驗結(jié)果。針對這些挑戰(zhàn),近年來發(fā)展了五軸加工技術(shù)、超緊湊式回?zé)崞骷夹g(shù)、干氣密封技術(shù)、鎳基合金材料、高速氣浮軸承和高速電機(jī)等技術(shù),為兆瓦級小型sCO?動力循環(huán)提供了高效結(jié)構(gòu)方案。

4.3 材料與腐蝕問題

金屬管道和部件在高溫S-CO?環(huán)境中的抗高溫腐蝕性能是該新型動力系統(tǒng)建設(shè)的瓶頸問題之一。研究表明,候選材料鐵素體/馬氏體耐熱鋼、奧氏體不銹鋼、高溫鎳基合金在高溫S-CO?環(huán)境中都會面臨腐蝕挑戰(zhàn)。普通碳鋼容易與CO?中的碳原子發(fā)生置換反應(yīng),導(dǎo)致材料性能退化。鎳基合金等材料的應(yīng)用解決了這一難題,為sCO?動力循環(huán)的實用化提供了材料基礎(chǔ)。

超臨界二氧化碳(sCO?)動力循環(huán)技術(shù)

五、sCO?動力循環(huán)面臨的難題與解決方案

盡管sCO?動力循環(huán)技術(shù)具有諸多優(yōu)勢,但在實際應(yīng)用中仍面臨一系列技術(shù)難題:

5.1 換熱器設(shè)計難題

超臨界二氧化碳表面換熱能力很差,只有水的三分之一左右。因此,需要研制高比表面積的換熱器。這種設(shè)備除了要增加比表面積,還要讓它的承壓能力、耐腐蝕性都要好,這需要毫米級薄板的高強(qiáng)度焊接。傳統(tǒng)方法無法實現(xiàn)這一要求,而真空擴(kuò)散焊工藝的應(yīng)用為超臨界二氧化碳換熱器的研發(fā)提供了解決方案。

5.2 系統(tǒng)控制難題

超臨界二氧化碳有響應(yīng)快的優(yōu)勢,引入一個熱量,可以快速升壓,但要做到既能響應(yīng)快又能可控,這就很難。針對這一挑戰(zhàn),研究人員研制并測試驗證了面向多應(yīng)用場景、具備多功能、多型式的型譜化樣機(jī)。

5.3 工程化應(yīng)用難題

超臨界二氧化碳發(fā)電系統(tǒng)需要解決高溫高壓密封、高速軸承系統(tǒng)、材料腐蝕等一系列工程化問題。其中,回?zé)崞?、吸熱器等裝置中的流動傳熱特性,高速輕型轉(zhuǎn)子的制造及平衡、高壓密封、高速軸承系統(tǒng)等都是需要攻克的技術(shù)難點(diǎn)。

六、顛覆性技術(shù)創(chuàng)新與未來發(fā)展

超臨界二氧化碳動力循環(huán)技術(shù)作為一種顛覆性技術(shù),不僅具有科學(xué)原理上的創(chuàng)新,在產(chǎn)業(yè)上也能夠帶來顛覆性的收益。經(jīng)過十余年的攻關(guān),我國的超臨界二氧化碳發(fā)電技術(shù)產(chǎn)學(xué)研體系基本建立,全國產(chǎn)化產(chǎn)業(yè)鏈條基本成型,具備了全面工程應(yīng)用條件。目前已經(jīng)掌握的超臨界二氧化碳技術(shù),基本上可以做到從兩百千瓦到一百兆瓦這個功率等級。

未來,sCO?動力循環(huán)除了在地面發(fā)電領(lǐng)域占據(jù)重要位置,還將為空間動力、航空發(fā)動機(jī)、核動力潛艇等國防武器裝備提供緊湊高效、清潔低廉的熱功轉(zhuǎn)換解決方案。隨著超臨界二氧化碳發(fā)電技術(shù)的不斷成熟和工程化應(yīng)用的推進(jìn),它將為航空航天領(lǐng)域帶來革命性的變化,特別是在熱管理、余熱回收和緊湊動力轉(zhuǎn)換方面發(fā)揮重要作用。

然而,該技術(shù)仍然面臨一些挑戰(zhàn),需要進(jìn)一步研究解決近臨界區(qū)物性對運(yùn)行參數(shù)的強(qiáng)敏感性、壓縮部件研發(fā)、高效穩(wěn)定運(yùn)行等問題。同時,需要針對不同的應(yīng)用場景、不同的功率等級規(guī)模,進(jìn)行工程應(yīng)用的探索和示范,成功后做標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計。這些對降低成本、提高運(yùn)維能力和水平都是至關(guān)重要的。

總的來說,超臨界二氧化碳動力循環(huán)及壓氣機(jī)技術(shù)作為一項前沿科技,正在推動航空航天動力系統(tǒng)的變革與創(chuàng)新,為其未來發(fā)展開辟了新的技術(shù)路徑和應(yīng)用前景。隨著相關(guān)技術(shù)的不斷突破和成熟,它必將在航空發(fā)動機(jī)領(lǐng)域發(fā)揮越來越重要的作用。

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湖南泰德航空技術(shù)有限公司

湖南泰德航空技術(shù)有限公司于2012年成立,多年來持續(xù)學(xué)習(xí)與創(chuàng)新,成長為行業(yè)內(nèi)有影響力的高新技術(shù)企業(yè)。公司聚焦高品質(zhì)航空航天流體控制元件及系統(tǒng)研發(fā),深度布局航空航天、船舶兵器、低空經(jīng)濟(jì)等高科技領(lǐng)域,在航空航天燃/滑油泵、閥元件、流體控制系統(tǒng)及航空測試設(shè)備的研發(fā)上投入大量精力持續(xù)研發(fā),為提升公司整體競爭力提供堅實支撐。

公司總部位于長沙市雨花區(qū)同升街道匯金路877號,株洲市天元區(qū)動力谷作為現(xiàn)代化生產(chǎn)基地,構(gòu)建起集研發(fā)、生產(chǎn)、檢測、測試于一體的全鏈條產(chǎn)業(yè)體系。經(jīng)過十余年穩(wěn)步發(fā)展,成功實現(xiàn)從貿(mào)易和航空非標(biāo)測試設(shè)備研制邁向航空航天發(fā)動機(jī)、無人機(jī)、靶機(jī)、eVTOL等飛行器燃油、潤滑、冷卻系統(tǒng)的創(chuàng)新研發(fā)轉(zhuǎn)型,不斷提升技術(shù)實力。

公司已通過 GB/T 19001-2016/ISO 9001:2015質(zhì)量管理體系認(rèn)證,以嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)保障產(chǎn)品質(zhì)量。公司注重知識產(chǎn)權(quán)的保護(hù)和利用,積極申請發(fā)明專利、實用新型專利和軟著,目前累計獲得的知識產(chǎn)權(quán)已經(jīng)有10多項。泰德航空以客戶需求為導(dǎo)向,積極拓展核心業(yè)務(wù),與中國航發(fā)、中航工業(yè)、中國航天科工、中科院、國防科技大學(xué)、中國空氣動力研究與發(fā)展中心等國內(nèi)頂尖科研單位達(dá)成深度戰(zhàn)略合作,整合優(yōu)勢資源,攻克多項技術(shù)難題,為進(jìn)一步的發(fā)展奠定堅實基礎(chǔ)。

湖南泰德航空始終堅持創(chuàng)新,建立健全供應(yīng)鏈和銷售服務(wù)體系、堅持質(zhì)量管理的目標(biāo),不斷提高自身核心競爭優(yōu)勢,為客戶提供更經(jīng)濟(jì)、更高效的飛行器動力、潤滑、冷卻系統(tǒng)、測試系統(tǒng)等解決方案。

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    構(gòu)成。二氧化碳常溫下是一種無色無味、不可燃的氣體,密度比空氣大,略溶于水,與水反應(yīng)生成碳酸,所以二氧化碳是碳酸的酸酐。國際標(biāo)準(zhǔn)分類中,水中二氧化碳濃度涉及到地質(zhì)學(xué)、氣象學(xué)、水文學(xué)、空氣質(zhì)量、分析化學(xué)。
    發(fā)表于 08-15 16:21

    通過基于需求的性能控制實現(xiàn)二氧化碳減排

    基于二氧化碳排放量計算,而不是像現(xiàn)在一樣根據(jù)發(fā)動機(jī)排量計算。目前根據(jù)發(fā)動機(jī)排量計算的D4類2公升發(fā)動機(jī)汽車的年均稅款(汽油和柴油)為233歐元。假設(shè)這類引擎
    發(fā)表于 12-07 10:15

    傳感器怎么讓柴油發(fā)動機(jī)減少二氧化碳排放?

    減少二氧化碳排放是當(dāng)今汽車領(lǐng)域最熱門的話題。歐盟委員會最近宣布到2012年獲得更安全更環(huán)保汽車的路線圖。汽車消費(fèi)者購買方式中的明顯變化也證實,消費(fèi)者想要能滿足自己個人與專業(yè)需求的有最高燃料效能汽車
    發(fā)表于 11-08 08:00

    二氧化碳傳感器的應(yīng)用場景有哪些?

    毒性,高濃度的二氧化碳則會使動物中毒。近幾年,隨著測量氣體濃度的技術(shù)和儀器不斷出現(xiàn)和發(fā)展,二氧化碳傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域也越來廣泛,今天就為大家介紹一下
    發(fā)表于 07-20 17:26

    二氧化碳致裂器

    煤層封孔二氧化碳爆破設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域本機(jī)器新型涉及煤礦鉆孔封堵爆裂技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及煤層封孔二氧化碳爆破設(shè)備。?背景技術(shù)詐要爆破目前仍是煤礦開采
    發(fā)表于 07-25 07:52

    使用超臨界二氧化碳的晶圓的高效干燥方法

    傳統(tǒng)濕法清洗工藝新一代半導(dǎo)體制作中具有根本的局限性,而濕法清洗后利用超臨界二氧化碳的干法干燥法是克服這一局限性的替代方法,考察了超臨界干燥法作為中間置換溶劑對IPA的
    發(fā)表于 03-23 16:36 ?1231次閱讀
    使用<b class='flag-5'>超臨界</b><b class='flag-5'>二氧化碳</b>的晶圓的高效干燥方法

    超臨界二氧化碳精密清洗中的應(yīng)用

    超臨界二氧化碳(CO2)由于其低成本、低毒性、不燃性和環(huán)境可接受性,已被確定為各種精密清潔應(yīng)用中氟氯化碳的有前途的溶劑替代品。本文介紹了最近使用CO2作為清洗溶劑的經(jīng)驗,以將該技術(shù)應(yīng)用
    發(fā)表于 04-22 14:05 ?1747次閱讀
    <b class='flag-5'>超臨界</b><b class='flag-5'>二氧化碳</b><b class='flag-5'>在</b>精密清洗中的應(yīng)用

    利用超臨界二氧化碳對MEMS進(jìn)行刻蝕、沖洗和干燥研究

    引言 利用現(xiàn)有的超臨界二氧化碳進(jìn)行蝕刻和干燥的工藝由兩階段工藝組成:高壓干燥器外部利用溶劑對晶片進(jìn)行蝕刻,然后移動到高壓干燥器,利用超臨界二氧化碳
    的頭像 發(fā)表于 06-02 16:55 ?2767次閱讀
    利用<b class='flag-5'>超臨界</b><b class='flag-5'>二氧化碳</b>對MEMS進(jìn)行刻蝕、沖洗和干燥研究

    二氧化碳傳感器的分類及其原理

    二氧化碳傳感器的分類及其原理? 二氧化碳傳感器是一種用于檢測和測量環(huán)境中二氧化碳濃度的設(shè)備。它可以廣泛應(yīng)用于室內(nèi)空氣質(zhì)量檢測、空調(diào)系統(tǒng)、工業(yè)過程控制、溫室監(jiān)測等
    的頭像 發(fā)表于 03-06 14:58 ?3931次閱讀

    二氧化碳為原料的清洗方式工業(yè)中的應(yīng)用(一)

    二氧化碳為基礎(chǔ)原料的清洗正在經(jīng)歷前所未有的迅猛發(fā)展,基于二氧化碳的特性,目前清洗領(lǐng)域中二氧化碳被用于以下4個方面:1、將二氧化碳預(yù)制成高
    的頭像 發(fā)表于 03-07 13:09 ?391次閱讀
    以<b class='flag-5'>二氧化碳</b>為原料的清洗方式<b class='flag-5'>在</b>工業(yè)中的應(yīng)用(一)

    創(chuàng)新驅(qū)動與產(chǎn)業(yè)變革:超臨界二氧化碳發(fā)電技術(shù)的差異化發(fā)展路徑與前景展望

    超臨界二氧化碳(S-CO?)發(fā)電技術(shù)是近年來熱力發(fā)電領(lǐng)域一項重要的技術(shù)變革,其以處于超臨界狀態(tài)的
    的頭像 發(fā)表于 10-23 15:20 ?2959次閱讀
    創(chuàng)新驅(qū)動與產(chǎn)業(yè)變革:<b class='flag-5'>超臨界</b><b class='flag-5'>二氧化碳</b>發(fā)電<b class='flag-5'>技術(shù)</b>的差異化發(fā)展路徑與前景展望
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