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【科研動(dòng)態(tài)】60萬(wàn)器件實(shí)現(xiàn)單片集成,激光雷達(dá)迎來(lái)FMCW方案的“硅光時(shí)刻”

LuminWave洛微科技 ? 2026-04-10 11:29 ? 次閱讀
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自動(dòng)駕駛、機(jī)器人感知與智能交互飛速發(fā)展的今天,三維動(dòng)態(tài)環(huán)境的精準(zhǔn)測(cè)繪已成為機(jī)器認(rèn)知世界的核心剛需。傳統(tǒng)激光雷達(dá)長(zhǎng)期受限于體積龐大、成本高昂、集成度不足等瓶頸,而調(diào)頻連續(xù)波(FMCW)相干激光雷達(dá)憑借抗干擾、可直接測(cè)速的優(yōu)勢(shì),成為實(shí)現(xiàn)真 4D 成像的理想方案,卻始終難以實(shí)現(xiàn)大規(guī)模單片集成與商業(yè)化落地。

2026年3月,瑞士Pointcloud GmbH團(tuán)隊(duì)在國(guó)際頂級(jí)期刊Nature發(fā)表題為A large-scale coherent 4D imaging sensor的突破性成果,依托45 nm硅光集成工藝,攻克大規(guī)模光電集成、片上光路由、低功耗探測(cè)等多重難題,研發(fā)出全球首款超大規(guī)模純固態(tài)相干4D成像激光雷達(dá)芯片,為機(jī)器打造出可量產(chǎn)、微型化、低成本的 “4D 慧眼”,被 Nature 主編評(píng)價(jià)為 “令人印象深刻的光電工程成就”。

1 攻堅(jiān)之路:破解4D成像芯片的三大行業(yè)頑疾

研究團(tuán)隊(duì)深耕硅光子與激光雷達(dá)集成領(lǐng)域多年,直面 FMCW 激光雷達(dá)芯片化的核心痛點(diǎn),歷經(jīng)反復(fù)設(shè)計(jì)、仿真與測(cè)試,逐一突破技術(shù)壁壘。

雙站架構(gòu)瓶頸:硅光工藝難以集成緊湊光環(huán)形器,傳統(tǒng)方案采用收發(fā)分離的雙站架構(gòu),不僅占用雙倍芯片面積,還存在光路對(duì)準(zhǔn)難、距離盲區(qū)、光串?dāng)_等問(wèn)題,嚴(yán)重限制陣列規(guī)模擴(kuò)展。

大規(guī)模光調(diào)度難題:像素陣列擴(kuò)容至數(shù)萬(wàn)級(jí)后,傳統(tǒng)波導(dǎo)布線損耗劇增、芯片面積失控,如何實(shí)現(xiàn)低損耗、高精度的片上光尋址,成為超大規(guī)模焦平面陣列(FPA)實(shí)用化的核心障礙。

功耗與探測(cè)距離矛盾:傳統(tǒng) ToF 激光雷達(dá)遠(yuǎn)距離探測(cè)需微焦級(jí)脈沖能量,逼近人眼安全極限,難以兼顧高分辨率、低功耗與長(zhǎng)探測(cè)距離。

團(tuán)隊(duì)依托GlobalFoundries 45SPCLO 300-mm硅光工藝平臺(tái),結(jié)合ANSYS Lumerical光子仿真與Cadence Virtuoso電子設(shè)計(jì)流程,完成超60萬(wàn)個(gè)光子器件與配套電路的單片集成設(shè)計(jì),歷經(jīng)多輪流片與測(cè)試驗(yàn)證,最終實(shí)現(xiàn)性能與集成度的雙重突破。

2 顛覆性創(chuàng)新:四大核心突破重塑激光雷達(dá)技術(shù)格局

2.1 單站像素架構(gòu):收發(fā)一體,從根源消除對(duì)準(zhǔn)難題

摒棄傳統(tǒng)雙站設(shè)計(jì),創(chuàng)新采用單站式(monostatic)像素架構(gòu),每個(gè)像素內(nèi)集成兩組光柵耦合器,同一光柵同時(shí)承擔(dān)激光發(fā)射與回波接收,配合定向耦合器、平衡鍺光電探測(cè)器與片上跨阻放大器TIA),實(shí)現(xiàn)平衡相干探測(cè),徹底杜絕像素間光串?dāng)_,無(wú)需光路對(duì)準(zhǔn),大幅壓縮芯片面積,為大規(guī)模陣列集成奠定基礎(chǔ)。

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片上集成架構(gòu)示意:(a)單像素塊結(jié)構(gòu)總覽;(b)單像素中的單站光路;(c)沉積微透鏡結(jié)構(gòu)改善單像素出光收光。(來(lái)源:https://www.nature.com/articles/s41586-026-10183-6/figures/2 )

2.2 兩級(jí)熱光開(kāi)關(guān)樹(shù):芯片級(jí) “光立交橋”,高效低耗調(diào)度

研究團(tuán)隊(duì)打造了兩級(jí)級(jí)聯(lián)熱光開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò),第一級(jí)置于陣列外,將光導(dǎo)向512個(gè)像素區(qū)塊;第二級(jí)嵌入?yún)^(qū)塊內(nèi),精準(zhǔn)尋址像素行列,每級(jí)開(kāi)關(guān)末端集成監(jiān)測(cè)光電二極管,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)相位校準(zhǔn)。

通過(guò)16個(gè)光纖輸入通道,將開(kāi)關(guān)總損耗控制在4 dB,單次可并行點(diǎn)亮128個(gè)像素,支撐3–15 fps高幀率成像,完美解決6萬(wàn)級(jí)像素的光調(diào)度難題。

2.3 片上微透鏡:秒變“可換鏡頭單反”,靈活適配場(chǎng)景

在芯片表面為每個(gè)像素定制沉積凹面微透鏡,校正光柵面外發(fā)射角,擴(kuò)束光束以充分匹配商用 SWIR 鏡頭孔徑,消除像差與邊緣暗角。僅需更換不同焦距鏡頭,即可自由切換視場(chǎng)角(FOV)與角分辨率,實(shí)現(xiàn)從近距離室內(nèi)精細(xì)成像到遠(yuǎn)距離戶外測(cè)繪的靈活適配,打破傳統(tǒng)激光雷達(dá)光學(xué)系統(tǒng)固定化的局限。

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示例點(diǎn)云與實(shí)景圖:(a)單次采集的辦公室場(chǎng)景點(diǎn)云;(b)多次相干平均的遠(yuǎn)距離建筑點(diǎn)云;(c)附帶速度標(biāo)注的旋轉(zhuǎn)圓盤(pán)點(diǎn)云;(d-f)對(duì)應(yīng)的場(chǎng)景照片。(來(lái)源:https://www.nature.com/articles/s41586-026-10183-6/figures/3 )

2.4 超低功耗相干探測(cè):46 nJ /點(diǎn),兼顧安全與性能

采用FMCW相干混頻探測(cè)體制,利用相干選擇性抑制環(huán)境雜散光,無(wú)需高功率脈沖抗干擾;結(jié)合4次低功耗相干平均(單次僅11 nJ),將單點(diǎn)探測(cè)能耗降至46 nJ,較此前最優(yōu)水平降低一個(gè)數(shù)量級(jí),遠(yuǎn)低于人眼安全閾值。

同時(shí)實(shí)現(xiàn)65m探測(cè)距離、0.06°角分辨率、3.9mm測(cè)距精度、3.0mm/s測(cè)速精度,25mm距離分辨率下性能全面達(dá)標(biāo)商業(yè)應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。

3 硬核性能:創(chuàng)紀(jì)錄規(guī)模,定義 4D 成像新標(biāo)桿

團(tuán)隊(duì)研發(fā)的FMCW 激光雷達(dá)FPA芯片,核心參數(shù)刷新行業(yè)紀(jì)錄:

陣列規(guī)模:352×176 像素,超60萬(wàn)個(gè)光子器件單片集成,像素?cái)?shù)量為此前最先進(jìn)水平的5倍,達(dá)近QVGA分辨率;

成像能力:4–65 m全域探測(cè),支持3–15 fps實(shí)時(shí)4D點(diǎn)云輸出,可同步獲取三維空間信息與徑向速度;

集成度:全球首個(gè)光子器件+ CMOS控制電路+驅(qū)動(dòng)電路全單片集成的大規(guī)模相干FPA,無(wú)需外接復(fù)雜電子系統(tǒng);

擴(kuò)展性:優(yōu)化本振功率與波導(dǎo)架構(gòu)后,SNR可提升5.6 dB,采用Si–SiN混合架構(gòu)可將探測(cè)距離拓展至200 m以上。

4 產(chǎn)業(yè)價(jià)值:開(kāi)啟4D成像普及時(shí)代,賦能千行百業(yè)

這款純固態(tài)相干4D成像傳感器的問(wèn)世,標(biāo)志著FMCW激光雷達(dá)正式邁入芯片化、低成本、可量產(chǎn)的硅光時(shí)代,徹底打破傳統(tǒng)激光雷達(dá)的應(yīng)用壁壘,核心應(yīng)用價(jià)值覆蓋三大領(lǐng)域:

自動(dòng)駕駛:為自動(dòng)駕駛汽車提供全天候、抗干擾的4D感知,精準(zhǔn)識(shí)別動(dòng)態(tài)障礙物、測(cè)算車速,提升行車安全,替代傳統(tǒng)機(jī)械式與半固態(tài)激光雷達(dá),降低車載感知系統(tǒng)成本與體積;

服務(wù)與工業(yè)機(jī)器人賦予機(jī)器人精準(zhǔn)空間感知與動(dòng)態(tài)目標(biāo)追蹤能力,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜環(huán)境避障、精細(xì)抓取,適配物流、家政、工業(yè)自動(dòng)化等場(chǎng)景;

消費(fèi)電子與AR/VR微型化芯片設(shè)計(jì)可集成至手機(jī)、VR設(shè)備,實(shí)現(xiàn)空間建模、手勢(shì)識(shí)別、三維交互,推動(dòng)消費(fèi)電子從2D成像邁向4D感知升級(jí)。

研究團(tuán)隊(duì)表示,下一代產(chǎn)品將進(jìn)一步優(yōu)化像素排布、提升片上光功率、集成片上光源,最終實(shí)現(xiàn)單芯片全集成4D成像系統(tǒng),體積比肩CMOS圖像傳感器,成本降至消費(fèi)級(jí)水平。

從實(shí)驗(yàn)室突破到產(chǎn)業(yè)落地,這款大規(guī)模相干4D成像傳感器,不僅是激光雷達(dá)技術(shù)的里程碑,更將重塑機(jī)器視覺(jué)生態(tài),讓4D感知走進(jìn)自動(dòng)駕駛、機(jī)器人、消費(fèi)電子等每一個(gè)場(chǎng)景,為智能世界打造一雙雙精準(zhǔn)、靈敏、低成本的“4D 慧眼”。

參考文章:

https://www.nature.com/articles/s41586-026-10183-6

https://mp.weixin.qq.com/s/eVz1Dd3scpLwIuBlbbjD3Q

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