研究背景
在5G通信、柔性顯示、新能源電池等前沿領(lǐng)域，薄膜材料的性能直接決定了產(chǎn)品的可靠性。其中，體積電阻率和表面電阻是衡量薄膜絕緣性能的核心指標(biāo)，但超薄厚度的測(cè)試卻充滿(mǎn)挑戰(zhàn)：
傳統(tǒng)設(shè)備電極覆蓋不足，信號(hào)不穩(wěn)定；
微米級(jí)厚度易引發(fā)邊緣短路；
不同規(guī)格樣品需頻繁更換夾具，效率低下等。
二、解決方案：薄膜產(chǎn)品測(cè)試
（一）測(cè)試對(duì)象

有一家專(zhuān)注于電子專(zhuān)用材料研發(fā)的高新技術(shù)企業(yè)，近期需要對(duì)其新型薄膜產(chǎn)品進(jìn)行關(guān)鍵電學(xué)性能測(cè)試：測(cè)試薄膜產(chǎn)品的體積電阻率、表面電阻。
（二）測(cè)試要求
檢測(cè)項(xiàng)目：體積電阻率、表面電阻
樣品規(guī)格：10μm/14μm/40μm薄膜
（三）解決方案
針對(duì)客戶(hù)超薄薄膜材料的電學(xué)性能檢測(cè)需求，需完成體積電阻率（ρv）及表面電阻（Rs）兩項(xiàng)核心指標(biāo)測(cè)試。
1.體積電阻率（ρv）作為表征材料整體絕緣性能的核心參數(shù)，其數(shù)值直接決定了電子器件的漏電流與能耗。當(dāng)測(cè)試超薄樣品時(shí)，需要使用大電極均勻加壓，避免局部擊穿。
2.表面電阻（Rs）作為表征材料表面導(dǎo)電特性的核心參數(shù)，其量值直接決定防靜電、電磁屏蔽等性能。在微米級(jí)薄膜材料測(cè)試中，易引發(fā)因電極接觸不良導(dǎo)致的數(shù)據(jù)波動(dòng)。
為兼顧測(cè)試精度與效率，推薦采用TH2690系列飛安表/靜電計(jì)/高阻計(jì)+TH26090表面電阻率/體電阻率測(cè)試夾具的組合方案，其核心優(yōu)勢(shì)如下：

(一)、單機(jī)全功能
TH2690系列通過(guò)高度集成化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了"單機(jī)全功能測(cè)試"，徹底擺脫對(duì)上位機(jī)的依賴(lài)，為微弱信號(hào)測(cè)量帶來(lái)革命性便捷體驗(yàn)。

(二)、0.01fA電流分辨率
TH2690系列其最小電流分辨率0.01fA(10-17A)，可滿(mǎn)足大部分場(chǎng)景的微弱電流測(cè)量需求，大大解決薄膜材料信號(hào)漂移問(wèn)題。

(三)、數(shù)據(jù)分析處理能力
TH2690系列內(nèi)置±1000V電壓源，支持1mV步進(jìn)式精密調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)從1V到1000V寬范圍電壓的精確施加與動(dòng)態(tài)控制，滿(mǎn)足高阻材料測(cè)試的電壓精度要求。
(四)、多電極快速切換

在10μm級(jí)超薄薄膜的體積電阻率測(cè)試中，傳統(tǒng)小電極存在兩大技術(shù)瓶頸：覆蓋失效+短路風(fēng)險(xiǎn)，同惠電子針對(duì)性開(kāi)發(fā)了TH26090表面電阻率/體電阻率測(cè)試夾具適用被測(cè)件尺寸：直徑 50mm ~ 125mm，厚度：10μm ~ 10mm，確保有效接觸面積，大大降低短路發(fā)生率。

(五)、數(shù)據(jù)分析處理能力
TH2690系列支持將測(cè)量數(shù)據(jù)以.CSV 格式保存，同時(shí)可轉(zhuǎn)換為曲線圖、直方圖等圖形化形式。這種設(shè)計(jì)使用戶(hù)既能獲取精確數(shù)值，又能直觀觀察數(shù)據(jù)分布規(guī)律或變化趨勢(shì)，為后續(xù)分析提供多維視角。
曲線圖

直方圖
（四）經(jīng)驗(yàn)與總結(jié)
薄膜材料是柔性電子、新能源等領(lǐng)域的核心基礎(chǔ)，技術(shù)突破推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)。同惠電子依托三十余年精密測(cè)試技術(shù)積累，以TH2690系列高精度儀器，為超薄、柔性、高阻薄膜提供檢測(cè)方案，助力全流程品控。

審核編輯 黃宇