光刻機是集成電路最具關鍵性的基礎裝備之一，全球只有3-4家廠商可以生產制造，中高端產品幾乎被國際廠商壟斷，要想解決我國集成電路產業(yè)發(fā)展中的“卡脖子”問題，推動光刻機的國產化勢在必行，需要調動國家資本、產業(yè)資本和社會資本的共同參與。

日前，集成電路裝備及關鍵零部件企業(yè)華卓精科獲得渾由渾璞投資、中國國際金融股份有限公司和紅星美凱龍控股集團共計8700萬的戰(zhàn)略投資。其中，渾璞投資的投資金額為6600萬元。

與此同時，華卓精科發(fā)布公告，公司收到北京市經濟和信息化委員會撥付的國家科技重大專項中央財政資金合計1.39億元。

華卓精科由科技部首批重點領域“超精密機械與測控創(chuàng)新團隊”負責人，中組部國家萬人計劃專家、清華大學機械工程系長聘教授、博士生導師，機械電子工程研究所所長朱煜教授于2012年創(chuàng)立，專注于集成電路裝備技術研發(fā)及產業(yè)化，在集成電路制造用前道光刻機的重要部件——雙工件臺的研發(fā)和產業(yè)化方面處于領先地位，是除世界光刻機龍頭——荷蘭ASML公司外全球第二家可以生產光刻機雙工件臺的企業(yè)。

華卓精科也是清華大學集成電路設備技術17年技術積累的產業(yè)化平臺，公司挾高精尖技術向下俯沖，在激光退火、硅片堆疊、掃描干涉光刻、平面光柵、高精密運動臺、靜電卡盤、隔振器等集成電路裝備和關鍵零部件領域處于國內領先水平。

光刻機被周光召先生譽為新時代“兩彈一星”般的“神器”和世界上最精密的儀器。而光刻機雙工件臺作為光刻機的兩大核心子系統(tǒng)，因要在最大加速度不小于30 m/s^2、最大速度不低于500m/s的工作狀態(tài)下，使運動誤差保持在2納米之內，也就是人頭發(fā)絲直徑的四萬分之一，可以想象為兩架時速1000公里/小時的飛機在任意時刻的飛行位置偏差不超過一個微米。如此極端的性能指標，使光刻機雙工件臺成為當之無愧的“精密機械之王”，其制造也成為世界級難題。

華卓精科肩負雙工件臺國產化這一世紀挑戰(zhàn)，承接清華大學2001年以來在“863計劃”光刻機工件臺方面的核心技術，已申請發(fā)明專利231項，其中已授權中國發(fā)明專利139項、授權國際發(fā)明專利23項。華卓精科于2014年聯(lián)合清華大學成功推出了中國第一臺滿足65納米光刻機需求的雙工件臺樣機，現(xiàn)在正在向28納米制程的浸沒式光刻機雙工件臺這一世界級技術高地發(fā)起沖鋒。

渾璞投資是一家專注于集成電路產業(yè)鏈布局的股權投資公司。此次領投華卓精科，是繼今年八月份領投全球領先的磁性材料和新一代磁存儲器刻蝕裝備企業(yè)——魯汶儀器后，在集成電路裝備領域的又一次重大布局。當前，全球半導體進入第三次景氣周期，新一輪的晶圓廠建廠高峰期會帶來對設備的需求增長，集成電路裝備是行業(yè)景氣的最先受益者，因此當前是布局集成電路裝備行業(yè)的黃金時期。