中興事件讓我們認識了中國的“芯”痛,那么小小芯片為什么這么難制造?今天小編給你介紹一下流程。
沙子,是制造芯片最基本的材料,而脫氧后的沙子,是半導體制造產(chǎn)業(yè)的基礎。通過多步凈化得到可用于半導體制造質(zhì)量的硅,學名電子級硅(EGS),最后得到的就是硅錠(Ingot)
硅錠切割:橫向切割成圓形的單個硅片,也就是我們常說的晶圓(Wafer)。順便說,這下知道為什么晶圓都是圓形的了吧?
涂上光刻膠,必須保證光刻膠非常平非常平。然后進行光刻,這一步需要的技術(shù)水平非常高(目前中國自己的***只有90nm的制程,而國外先進的可以做到7nm。)光刻膠層隨后透過掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下。
先溶解光刻膠,光刻過程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致再進行蝕刻,使用化學物質(zhì)溶解暴露出來的晶圓,剩下的光刻膠保護著不應該蝕刻的部分。
離子注入:在真空中,用經(jīng)過加速的原子、離子照射(注入)固體材料,使被注入的區(qū)域形成特殊的注入層,改變區(qū)域的硅的導電性。
電鍍:在晶圓上電鍍一層硫酸銅,把銅離子沉淀到晶體管上。銅離子會從正極走向負極。電鍍完成之后,銅離子沉積在晶圓表面,形成薄薄的銅層
拋光:將多余的銅拋光掉,也就是磨光晶圓表面。
再經(jīng)過測試,切片,丟棄瑕疵內(nèi)核。留下完好的準備進入下一步。
完成封裝
-
芯片
+關(guān)注
關(guān)注
463文章
54379瀏覽量
469009 -
晶圓
+關(guān)注
關(guān)注
53文章
5445瀏覽量
132713 -
光刻
+關(guān)注
關(guān)注
8文章
367瀏覽量
31393
發(fā)布評論請先 登錄
馬斯克擬建全球最大芯片廠,進軍2nm芯片制造!
芯片制造檢驗工藝中的全數(shù)檢查
半導體芯片制造核心材料“光刻膠(Photoresist)”的詳解
芯片制造的步驟
“點沙成金”的科技奇跡:深入解讀芯片制造三大階段與五大步驟
詳解芯片制造中的可測性設計
劃片機在生物晶圓芯片制造中的高精度切割解決方案
半導體芯片制造Fab工廠布局和結(jié)構(gòu)簡介-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司
劃片機在存儲芯片制造中的應用
芯片制造“鍍”金術(shù):化學鍍技術(shù)的前沿突破與未來藍圖
借助NVIDIA技術(shù)加速半導體芯片制造
芯片制造設備的防震 “秘籍”
氮化硅在芯片制造中的核心作用
芯片是如何制造的
評論